တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းနှင့် ဆေးဝါးဆိုင်ရာ သန့်ရှင်းရေးခန်းများ- မည်သည့်အရာက ပိုမိုတောင်းဆိုမှု ပိုများသနည်း။

အမှုန်အမွှားထိန်းချုပ်ခြင်း- အဏုဇီဝပိုးမွှားများကို တိုက်ဖျက်ခြင်းနှင့် ဖုန်မှုန့်များကို ထိန်းချုပ်ခြင်း

ဆေးဝါးသန့်စင်ခန်းများတွင် အကြီးမားဆုံးခြိမ်းခြောက်မှုမှာ အဏုဇီဝပိုးမွှားညစ်ညမ်းမှုဖြစ်သည်။

၅ မိုက်ခရိုမီတာထက် ကြီးသော အမှုန်များသည် ဘက်တီးရီးယား သို့မဟုတ် မှိုများကို သယ်ဆောင်သူများအဖြစ် မကြာခဏ လုပ်ဆောင်လေ့ရှိသည်။ အရေးကြီးသော Grade A ပတ်ဝန်းကျင်များတွင် ဤအမှုန်များ လုံးဝမရှိရပါ။ မည်သည့်သွေဖည်မှုမဆို ပိုးသတ်မှု မလုံလောက်ခြင်း၊ အော်ပရေတာညစ်ညမ်းခြင်း သို့မဟုတ် စက်ပစ္စည်းသေဇုန်များကြောင့်ဖြစ်စေ အပြည့်အဝ စုံစမ်းစစ်ဆေးမှုကို ဖြစ်ပေါ်စေပါသည်။

တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းစက်ရုံများတွင်၊ တကယ့်ရန်သူမှာ အလွန်သေးငယ်သော အမှုန်အမွှားများဖြစ်သည်။

3nm သို့မဟုတ် 5nm ကဲ့သို့သော အဆင့်မြင့် node များတွင် 0.1µm သို့မဟုတ် 0.05µm ကဲ့သို့ သေးငယ်သော အမှုန်များသည် circuit ၏ တည်တံ့မှုကို ပျက်စီးစေနိုင်သည်။ ဤအဏုကြည့်မှန်ပြောင်းဖြင့်သာမြင်နိုင်သော ညစ်ညမ်းမှုများသည် wafers များပေါ်တွင် အသက်အန္တရာယ်ရှိသော ချို့ယွင်းချက်များကို ဖြစ်စေနိုင်သည်။ စိတ်ဝင်စားစရာကောင်းသည်မှာ ပိုကြီးသော အမှုန်များ (≥5µm) သည် အရေးမကြီးဘဲ reference indicator များအဖြစ်သာ စောင့်ကြည့်လေ့ရှိသည်။

ရိုးရှင်းသောအသုံးအနှုန်းများဖြင့်-

➤ ဆေးဝါးသန့်စင်ခန်းများသည် “ကျူးကျော်သူများ” (အဏုဇီဝပိုးမွှားများ) ကို ဖမ်းယူနေကြသည်။

➤ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ သန့်ရှင်းခန်းများသည် “ဖုန်မှုန့်” (အလွန်သေးငယ်သော အမှုန်အမွှားများ) ကို ကာကွယ်ပေးသည်။

ကျူးကျော်သူတစ်ဦးသည် အသက်အန္တရာယ်ရှိသော အဖြစ်အပျက်တစ်ခုကို ဖြစ်စေနိုင်သည်။ အလွန်သေးငယ်သော အမှုန်အမွှားတစ်ခုသည် ချစ်ပ်တစ်ခုကို ပျက်စီးစေနိုင်သည်။

 

အဓိကရည်မှန်းချက်- လူနာဘေးကင်းရေး vs အထွက်နှုန်းအကောင်းဆုံးဖြစ်အောင်လုပ်ဆောင်ခြင်း

အခြေခံကွာခြားချက်မှာ နောက်ဆုံးရည်မှန်းချက်များတွင် တည်ရှိသည်။

ဆေးဝါးသန့်စင်ခန်းများ- ဘေးကင်းရေးကို ဦးစားပေး

ဆေးဝါးထုတ်ကုန်တိုင်းသည် နောက်ဆုံးတွင် လူ့ခန္ဓာကိုယ်ထဲသို့ ဝင်ရောက်သည်။ မည်သည့် အဏုဇီဝညစ်ညမ်းမှုမဆို ပြင်းထန်သော ဆေးဘက်ဆိုင်ရာ အကျိုးဆက်များကို ဖြစ်ပေါ်စေနိုင်သည်။ ထို့ကြောင့် ဆေးဝါးသန့်စင်ခန်းများကို တင်းကျပ်သော GMP (ကောင်းမွန်သော ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်) စည်းမျဉ်းများဖြင့် ထိန်းချုပ်ထားသည်။

ဒီဇိုင်း၊ လုပ်ငန်းလည်ပတ်မှုနှင့် အတည်ပြုခြင်းအားလုံးကို တင်းကျပ်စွာ ထိန်းချုပ်ထားသည်။ လိုက်နာမှုကို ညှိနှိုင်း၍မရပါ။

တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း သန့်ရှင်းခန်းများ- အထွက်နှုန်း ဦးစားပေး

တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်ရာတွင် ညစ်ညမ်းမှု လုံးဝမရှိစေရန် မဖြစ်နိုင်ပါ။ ယင်းအစား၊ စက်ရုံများသည် သန့်ရှင်းမှုနှင့် ကုန်ကျစရိတ်သက်သာမှုကို ဟန်ချက်ညီစေရန် အထွက်နှုန်းကို အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင် လုပ်ဆောင်ရန် ရည်ရွယ်ပါသည်။

ISO နှင့် SEMI ကဲ့သို့သော စံနှုန်းများသည် လမ်းညွှန်ချက်များ ပေးသော်လည်း ကုမ္ပဏီများသည် လုပ်ငန်းစဉ် node များနှင့် စီးပွားရေးဆိုင်ရာ ထည့်သွင်းစဉ်းစားရမည့်အချက်များအပေါ် အခြေခံ၍ parameters များကို ချိန်ညှိရန် ပြောင်းလွယ်ပြင်လွယ်ရှိမှုကို ထိန်းသိမ်းထားသည်။

အဓိက ခွဲခြားချက်-

➤Pharma: “ကျရှုံးမှုက အသက်အန္တရာယ်ရှိတယ်။”

➤ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ: “ပျက်ကွက်ခြင်းက ငွေကုန်ကြေးကျများပါတယ်။”

 

ပတ်ဝန်းကျင်ထိန်းချုပ်မှု- သီးခြားခွဲထားခြင်း vs အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင်ပြုလုပ်ခြင်း

လေစီးဆင်းမှုနှင့်ဖိအား

ဆေးဝါးသန့်စင်ခန်းများသည် အပြန်အလှန်ညစ်ညမ်းမှုကို ကာကွယ်ရန်အတွက် တင်းကျပ်သောဖိအားကွာခြားချက်များ (ပုံမှန်အားဖြင့် 10–15 Pa) လိုအပ်သည်။ ပြောင်းပြန်လေစီးဆင်းမှုသည် အသုတ်တစ်ခုလုံးကို ထိခိုက်စေနိုင်သောကြောင့် ဖိအားမအောင်မြင်ပါက စနစ်များသည် မိနစ်ပိုင်းအတွင်း အချက်ပေးသံများ မြည်ရမည်။

တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းစက်ရုံများသည် တစ်ပြေးညီ လေစီးဆင်းမှုနှင့် စွမ်းအင်ထိရောက်မှုကို အာရုံစိုက်ကြသည်။ FFU (Fan Filter Unit) စနစ်များကို အသုံးပြုခြင်းဖြင့် ၎င်းတို့သည် ပိုမိုပြေလျော့သော ဖိအား gradient များ (2–5 Pa) ဖြင့် ဒေါင်လိုက် laminar စီးဆင်းမှုကို ထိန်းသိမ်းထားပြီး၊ မကြာခဏ variable frequency control မှတစ်ဆင့် dynamically optimize လုပ်လေ့ရှိသည်။

အပူချိန်၊ စိုထိုင်းဆနှင့် AMC

ဆေးဝါးပတ်ဝန်းကျင်များတွင် အပူချိန်နှင့် စိုထိုင်းဆသည် အဓိကအားဖြင့် အော်ပရေတာ၏ သက်တောင့်သက်သာရှိမှုနှင့် ပိုးမွှားထိန်းချုပ်မှုကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။ အရေးကြီးသော်လည်း၊ တိကျမှုလိုအပ်ချက်များမှာ အသင့်အတင့်ဖြစ်သည်။

တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းစက်ရုံများတွင် ပတ်ဝန်းကျင်ထိန်းချုပ်မှုသည် လုပ်ငန်းစဉ်အတွက် အလွန်အရေးကြီးပါသည်။

ဥပမာအားဖြင့်:

➤ ဓာတ်ပုံကျောက်ပုံနှိပ်ဧရိယာများသည် ၂၂°C ±၀.၃°C လိုအပ်နိုင်သည်

➤ အနည်းငယ်သော အတက်အကျများသည်ပင် လိုင်းအကျယ် တိကျမှုကို ထိခိုက်နိုင်သည်

AMC (လေထဲတွင် မော်လီကျူးညစ်ညမ်းမှု) ထိန်းချုပ်မှုသည် ပိုမိုရှုပ်ထွေးပါသည်။

➤ အက်ဆစ် သို့မဟုတ် အမိုးနီးယား၏ အနည်းငယ်အဆင့်များကို ppb (ဘီလီယံလျှင် အပိုင်း) အဆင့်တွင် ထားရှိရမည်။

➤ ဓာတုပစ္စည်းအနည်းငယ်သာညစ်ညမ်းမှုပင် လစ်သိုဂရပ်ဖီမှန်ဘီလူးများကို အနှောင့်အယှက်ဖြစ်စေပြီး အထွက်နှုန်းကို လျော့ကျစေနိုင်သည်။

ဤဓာတုထိန်းချုပ်မှုအဆင့်သည် ဆေးဝါးသန့်စင်ခန်းများတွင် အများအားဖြင့် မရှိပါ။