သန့်ရှင်းသောအခန်းတွင် လေ၀င်လေထွက်လည်ပတ်မှုအဖွဲ့အစည်း၏ ဩဇာသက်ရောက်မှုများကား အဘယ်နည်း။

ချစ်ပ်ပြားထုတ်လုပ်ခြင်းလုပ်ငန်းတွင် ချစ်ပ်အထွက်နှုန်းသည် ချစ်ပ်ပြားပေါ်ရှိ လေအမှုန်အမွှားများ၏ အရွယ်အစားနှင့် အရေအတွက်တို့နှင့် အနီးကပ်ဆက်စပ်နေသည်။ လေ၀င်လေထွက်ကောင်းသည့်အဖွဲ့အစည်းသည် သန့်ရှင်းသောအခန်းနှင့်ဝေးရာ ဖုန်မှုန့်များမှ ထုတ်ပေးသော အမှုန်အမွှားများကို စုပ်ယူနိုင်ပြီး သန့်စင်ခန်း၏သန့်ရှင်းမှုကို သေချာစေသည်။ ဆိုလိုသည်မှာ cleanroom ရှိ လေစီးဆင်းမှုအဖွဲ့အစည်းသည် ချစ်ပ်ထုတ်လုပ်ခြင်း၏ အထွက်နှုန်းတွင် အရေးပါသောအခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်ပါသည်။ Clean room air flow organization ၏ ဒီဇိုင်းတွင် အောင်မြင်ရမည့် ပန်းတိုင်များမှာ- အန္တရာယ်ရှိသော အမှုန်အမွှားများကို ထိန်းသိမ်းခြင်းမှ ရှောင်ရှားရန် စီးဆင်းနေသော လယ်ကွင်းအတွင်းရှိ eddy လျှပ်စီးကြောင်းများကို လျှော့ချရန် သို့မဟုတ် ဖယ်ရှားပစ်ရန်၊ ဖြတ်ကျော်ညစ်ညမ်းမှုကို ကာကွယ်ရန် သင့်လျော်သော positive pressure gradient ကို ထိန်းသိမ်းထားရန်။

Clean room နိယာမအရ အမှုန်များပေါ်တွင် သက်ရောက်သော စွမ်းအားများသည် ဒြပ်ထုအား၊ မော်လီကျူးစွမ်းအား၊ အမှုန်များကြားမှ ဆွဲဆောင်မှု၊ လေစီးဆင်းမှု စသည်တို့ ပါဝင်သည်။

လေ၀င်လေထွက်အား- ထောက်ပံ့မှုနှင့်ပြန်လေစီးဆင်းမှုကြောင့်ဖြစ်ပေါ်လာသောလေစီးဆင်းမှု၊ အပူအငွေ့ပျံခြင်း၊ အတုအယောင်တုန်လှုပ်ခြင်းနှင့် အမှုန်များကိုသယ်ဆောင်ရန် သတ်မှတ်ထားသောစီးဆင်းမှုနှုန်းဖြင့် အခြားလေစီးဆင်းမှုအား ရည်ညွှန်းသည်။ သန့်ရှင်းသောအခန်းပတ်ဝန်းကျင်ဆိုင်ရာနည်းပညာထိန်းချုပ်မှုအတွက်၊ လေစီးဆင်းမှုစွမ်းအားသည် အရေးကြီးဆုံးအချက်ဖြစ်သည်။

လေ၀င်လေထွက်လှုပ်ရှားမှုတွင် အမှုန်များသည် လေ၀င်လေထွက်ကို အတိအကျနီးပါး တူညီသောအမြန်နှုန်းဖြင့် လိုက်နေကြောင်း စမ်းသပ်မှုများက ပြသခဲ့သည်။ လေထုအတွင်းရှိ အမှုန်အမွှားများ၏ အခြေအနေကို လေစီးဆင်းမှုဖြန့်ဖြူးမှုဖြင့် ဆုံးဖြတ်သည်။ အိမ်တွင်းအမှုန်များပေါ်ရှိ လေ၀င်လေထွက်၏ အဓိကအကျိုးသက်ရောက်မှုများတွင်- လေပေးဝေသောလေစီးဆင်းမှု (မူလလေ၀င်လေထွက်နှင့် သာမညလေစီးဆင်းမှုအပါအဝင်)၊ လူတို့လမ်းလျှောက်ခြင်းကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော လေ၀င်လေထွက်နှင့် အပူလှိုင်းလေစီးဆင်းမှု၊ လုပ်ငန်းစဉ်လည်ပတ်မှုနှင့် စက်မှုလုပ်ငန်းသုံးပစ္စည်းများကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော လေ၀င်လေထွက်အမှုန်များပေါ်တွင် သက်ရောက်မှုရှိသည်။ မတူညီသော လေပေးဝေမှုနည်းလမ်းများ၊ အမြန်နှုန်းကြားခံများ၊ အော်ပရေတာများနှင့် စက်မှုလုပ်ငန်းသုံးပစ္စည်းများ၊ သန့်စင်ခန်းများရှိ ဖြစ်ပေါ်လာသောဖြစ်စဉ်များ အစရှိသည်တို့မှာ သန့်ရှင်းမှုအဆင့်ကို သက်ရောက်မှုရှိသော အကြောင်းရင်းများဖြစ်သည်။

1. လေပေးဝေမှုနည်းလမ်း၏လွှမ်းမိုးမှု

(1) Air supply speed

တူညီသောလေစီးကြောင်းသေချာစေရန်အတွက်၊ unidirectional flow clean room ရှိ လေပေးဝေမှုအမြန်နှုန်းသည် တူညီရမည်။ လေပေးဝေရေး မျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ dead zone သည် သေးငယ်ရမည်။ နှင့် hepa filter အတွင်းရှိ ဖိအားကျဆင်းမှုသည် တူညီနေရပါမည်။

လေပေးဝေမှုအမြန်နှုန်းသည် တူညီသည်- ဆိုလိုသည်မှာ၊ လေစီးဆင်းမှု မညီညာမှုကို ±20% အတွင်း ထိန်းချုပ်ထားသည်။

လေထောက်ပံ့ရေး မျက်နှာပြင်တွင် နေရာလွတ်နည်းပါးသည်- hepa frame ၏ လေယာဉ်ဧရိယာကို လျှော့ချသင့်ရုံသာမက ပိုအရေးကြီးသည်မှာ၊ ထပ်နေသောဘောင်ကို ရိုးရှင်းစေရန်အတွက် modular FFU ကို အသုံးပြုသင့်သည်။

လေစီးကြောင်းသည် ဒေါင်လိုက်နှင့် တစ်ပြေးညီဖြစ်နေကြောင်း သေချာစေရန်အတွက်၊ filter ၏ ဖိအားကျဆင်းမှုရွေးချယ်မှုသည် အလွန်အရေးကြီးပြီး filter အတွင်းရှိ ဖိအားဆုံးရှုံးမှုကို ဘက်လိုက်၍မရနိုင်စေရန် လိုအပ်ပါသည်။

(၂) FFU စနစ်နှင့် axial flow fan system အကြား နှိုင်းယှဉ်ခြင်း။

FFU သည် ပန်ကာနှင့် hepa စစ်ထုတ်မှုပါရှိသော လေထောက်ပံ့ရေးယူနစ်တစ်ခုဖြစ်သည်။ လေကို FFU ၏ centrifugal ပန်ကာမှ စုပ်ယူပြီး လေပြွန်အတွင်းရှိ dynamic pressure အဖြစ်သို့ ပြောင်းလဲပေးပါသည်။ ၎င်းကို hepa filter ဖြင့် အညီအမျှ လွင့်ထုတ်သည်။ မျက်နှာကျက်ပေါ်ရှိ လေဝင်လေထွက်ဖိအားသည် အနှုတ်ဖိအားဖြစ်သည်။ ဤနည်းဖြင့် ဇကာကို အစားထိုးသည့်အခါ သန့်ရှင်းသော အခန်းထဲသို့ ဖုန်မှုန့်များ စိမ့်ဝင်မည်မဟုတ်ပါ။ စမ်းသပ်ချက်များအရ FFU စနစ်သည် လေထွက်ပေါက်တူညီမှု၊ လေစီးဆင်းမှုအပြိုင်နှင့် လေဝင်လေထွက်စွမ်းဆောင်ရည်အညွှန်းကိန်းများတွင် axial flow fan system ထက် သာလွန်ကြောင်း သက်သေပြခဲ့သည်။ အဘယ်ကြောင့်ဆိုသော် FFU စနစ်၏ လေ၀င်လေထွက် ပြိုင်ဆိုင်မှု ပိုမိုကောင်းမွန်သောကြောင့် ဖြစ်သည်။ FFU စနစ်အသုံးပြုခြင်းသည် သန့်ရှင်းသောအခန်းတွင် လေ၀င်လေထွက်ကောင်းမွန်စေပါသည်။

(၃) FFU ၏ ကိုယ်ပိုင်ဖွဲ့စည်းပုံအပေါ် လွှမ်းမိုးမှု

FFU သည် အဓိကအားဖြင့် ပန်ကာများ၊ စစ်ထုတ်မှုများ၊ လေစီးဆင်းမှုလမ်းညွှန်များနှင့် အခြားအစိတ်အပိုင်းများဖြင့် ဖွဲ့စည်းထားသည်။ hepa filter သည် ဒီဇိုင်းဖြင့် လိုအပ်သော သန့်ရှင်းမှုရရှိရန် အခန်းသန့်ရှင်းမှုအတွက် အရေးကြီးဆုံးအာမခံချက်ဖြစ်သည်။ Filter ၏ ပစ္စည်းသည် flow field ၏ တူညီမှုကိုလည်း ထိခိုက်စေပါသည်။ ကြမ်းတမ်းသော filter ပစ္စည်း သို့မဟုတ် flow plate ကို filter outlet ထဲသို့ထည့်လိုက်သောအခါ၊ outlet flow field ကို အလွယ်တကူတူညီအောင်ပြုလုပ်နိုင်သည်။

2. မတူညီသောသန့်ရှင်းမှုနှင့် မြန်နှုန်းကြားခံ၏သက်ရောက်မှု

တူညီသောသန့်ရှင်းသောအခန်းတွင်၊ ဒေါင်လိုက်တစ်ဖက်သတ်လမ်းကြောင်းစီးဆင်းမှုရှိသောအလုပ်ဧရိယာနှင့်အလုပ်မလုပ်သောဧရိယာကြားတွင်၊ hepa box တွင်လေအမြန်နှုန်းကွာခြားချက်ကြောင့်၊ အင်တာဖေ့စ်တွင်ရောနှောထားသောရေကြောင်းအကျိုးသက်ရောက်မှုတစ်ခုဖြစ်ပေါ်လာမည်ဖြစ်ပြီး၊ ဤမျက်နှာပြင်သည် လှိုင်းထလာမည်ဖြစ်သည်။ လေစီးဆင်းမှုဇုန်။ လေ၀င်လေထွက်ပြင်းထန်မှု၏ပြင်းထန်မှုသည် အထူးပြင်းထန်ပြီး အမှုန်အမွှားများသည် စက်ကိရိယာ၏မျက်နှာပြင်သို့ ကူးစက်နိုင်ပြီး စက်နှင့် wafers များကို ညစ်ညမ်းစေနိုင်သည်။

3. ဝန်ထမ်းများနှင့် စက်ပစ္စည်းများအပေါ် ထိခိုက်မှု

သန့်ရှင်းသောအခန်းသည် အလွတ်ဖြစ်နေသောအခါ၊ အခန်းအတွင်းရှိ လေ၀င်လေထွက်လက္ခဏာများသည် ယေဘုယျအားဖြင့် ဒီဇိုင်းလိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီပါသည်။ စက်ပစ္စည်းများ သန့်စင်ခန်းထဲသို့ ဝင်လာသောအခါ၊ လူများ ရွေ့လျားလာပြီး ကုန်ပစ္စည်းများ သယ်ယူလာသောအခါတွင်၊ စက်မှထွက်သော ချွန်ထက်သောအချက်များကဲ့သို့သော လေစီးဆင်းမှုအဖွဲ့အစည်းအတွက် မလွဲမသွေ အတားအဆီးများ ရှိနေပါသည်။ ထောင့်များ သို့မဟုတ် အစွန်းများတွင် ဓာတ်ငွေ့သည် လှိုင်းထန်သော စီးဆင်းရာနေရာကို လမ်းကြောင်းပြောင်းသွားမည်ဖြစ်ပြီး ဧရိယာအတွင်းရှိ အရည်များကို အလွယ်တကူ သယ်ဆောင်သွားမည်မဟုတ်သောကြောင့် ညစ်ညမ်းမှုကို ဖြစ်စေသည်။

တစ်ချိန်တည်းမှာပင်၊ စဉ်ဆက်မပြတ်လည်ပတ်မှုကြောင့် စက်ပစ္စည်းများ၏မျက်နှာပြင်ကို အပူပေးမည်ဖြစ်ပြီး၊ အပူချိန် gradient သည် စက်အနီးရှိ reflow area ကိုဖြစ်စေပြီး reflow area တွင် အမှုန်များစုပုံလာစေသည်။ တစ်ချိန်တည်းမှာပင် မြင့်မားသော အပူချိန်သည် အမှုန်အမွှားများကို အလွယ်တကူ လွတ်မြောက်စေပါသည်။ သက်ရောက်မှုနှစ်ခုသည် ဒေါင်လိုက်အလွှာတစ်ခုလုံးကို အားကောင်းစေသည်။ ရေစီးကြောင်း သန့်ရှင်းမှုကို ထိန်းချုပ်ရန် ခက်ခဲခြင်း။ သန့်ရှင်းသောအခန်းရှိ အော်ပရေတာများမှ ဖုန်မှုန့်များသည် ဤပြန်လည်စီးဆင်းသည့်နေရာများရှိ wafers များကို အလွယ်တကူ တွယ်ကပ်နိုင်သည်။

4. ပြန်လာလေလွှာ၏သြဇာ

ကြမ်းပြင်ကိုဖြတ်သွားသော ပြန်လေထု၏ ခံနိုင်ရည်သည် မတူညီသောအခါ၊ ဖိအားကွာခြားမှု ဖြစ်ပေါ်လာပြီး သေးငယ်သောခုခံမှု၏ ဦးတည်ရာသို့ လေစီးဆင်းစေကာ တူညီသောလေစီးဆင်းမှုကို ရရှိမည်မဟုတ်ပါ။ လက်ရှိရေပန်းစားနေတဲ့ ဒီဇိုင်းနည်းလမ်းကတော့ အမြင့်ကြမ်းခင်းကို အသုံးပြုခြင်းဖြစ်ပါတယ်။ မြင့်သောကြမ်းပြင်၏အဖွင့်အချိုးသည် 10% တွင်ရှိသောအခါတွင် လေ၀င်လေထွက်အလျင်သည် အိမ်တွင်းလုပ်ငန်းခွင်အမြင့်တွင် အညီအမျှဖြန့်ဝေနိုင်သည်။ ထို့အပြင် ကြမ်းပြင်ပေါ်ရှိ လေထုညစ်ညမ်းမှု အရင်းအမြစ်ကို လျှော့ချရန်အတွက် သန့်ရှင်းရေးလုပ်ငန်းကို တင်းကျပ်စွာ အာရုံစိုက်သင့်သည်။

5. Induction ဖြစ်စဉ်

induction phenomenon သည် တူညီသော စီးဆင်းမှုဆီသို့ ဆန့်ကျင်ဘက် ဦးတည်ရာသို့ လေစီးဆင်းမှု ထုတ်ပေးသည့် ဖြစ်စဉ်ကို ရည်ညွှန်းပြီး ကပ်လျက် ညစ်ညမ်းနေသော ဧရိယာများ အတွင်းရှိ ဖုန်မှုန့်များကို အခန်းတွင်း သို့မဟုတ် ဖုန်မှုန့်များကို ဖြစ်ပေါ်စေကာ wafer ကို ညစ်ညမ်းစေသည်။ ဖြစ်နိုင်သော လှုံ့ဆော်မှု ဖြစ်စဉ်များတွင် အောက်ပါတို့ ပါဝင်သည်-

(၁) ကန်းပြား

ဒေါင်လိုက်တစ်လမ်းမောင်းဖြင့် သန့်ရှင်းသောအခန်းတွင်၊ နံရံပေါ်ရှိ အဆစ်များကြောင့်၊ လှိုင်းထန်သောစီးဆင်းမှုနှင့် ပြည်တွင်းပြန်စီးဆင်းမှုကို ဖြစ်ပေါ်စေမည့် ယေဘုယျအားဖြင့် မျက်မမြင်ပြားကြီးများရှိသည်။

(၂) မီးချောင်း

သန့်ရှင်းသောအခန်းရှိ မီးအလင်းရောင်များသည် ပိုမိုအကျိုးသက်ရောက်မှုရှိမည်။ မီးချောင်း၏ အပူရှိန်သည် လေစီးဆင်းမှုကို မြင့်တက်စေသောကြောင့်၊ ချောင်းမီးချောင်းသည် လှိုင်းထသည့်နေရာ ဖြစ်လာမည်မဟုတ်ပါ။ ယေဘူယျအားဖြင့်၊ သန့်ရှင်းသောအခန်းရှိ မီးချောင်းများသည် လေဝင်ပေါက်အဖွဲ့အစည်းအပေါ် မီးချောင်းများ၏ သက်ရောက်မှုကို လျှော့ချရန် မျက်ရည်ဥပုံသဏ္ဍာန်ဖြင့် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။

(၃) နံရံများကြား ကွာဟချက်

ကွဲပြားသော သန့်ရှင်းမှု လိုအပ်ချက်များရှိသော အခန်းကန့်နံရံများ သို့မဟုတ် မျက်နှာကျက်များကြား ကွာဟချက်များရှိနေသောအခါ၊ သန့်ရှင်းမှုနည်းသောနေရာများမှ ဖုန်မှုန့်များကို သန့်ရှင်းမှုမြင့်မားသော လိုအပ်ချက်ရှိသော ကပ်လျက်နေရာများသို့ လွှဲပြောင်းပေးနိုင်ပါသည်။

(၄) စက်ကိရိယာနှင့် ကြမ်းပြင် သို့မဟုတ် နံရံကြား အကွာအဝေး

စက်ပစ္စည်းများနှင့် ကြမ်းပြင် သို့မဟုတ် နံရံကြား ကွာဟချက် သေးငယ်ပါက၊ ပြန်လည်တုန်ခါမှု ဖြစ်ပေါ်လာလိမ့်မည်။ ထို့ကြောင့်၊ စက်ပစ္စည်းနှင့် နံရံကြား ကွာဟချက်ကို ထားခဲ့ကာ မြေနှင့် တိုက်ရိုက်မထိတွေ့စေရန် စက်ပလပ်ဖောင်းကို မြှင့်တင်ပါ။