သန့်ရှင်းသောအခန်းတွင် လေစီးဆင်းမှုစီစဉ်မှု၏ လွှမ်းမိုးမှုရှိသောအချက်များကား အဘယ်နည်း။

ချစ်ပ်ထုတ်လုပ်ရေးလုပ်ငန်းတွင် ချစ်ပ်ထုတ်လုပ်မှုပမာဏသည် ချစ်ပ်ပေါ်တွင်စုပုံနေသော လေအမှုန်အမွှားများ၏ အရွယ်အစားနှင့် အရေအတွက်နှင့် နီးကပ်စွာဆက်စပ်နေသည်။ ကောင်းမွန်သော လေစီးဆင်းမှုစီစဉ်မှုသည် ဖုန်မှုန့်ရင်းမြစ်များမှ ထွက်လာသော အမှုန်အမွှားများကို သန့်ရှင်းသောအခန်းမှ ဝေးရာသို့ ယူဆောင်သွားပြီး သန့်ရှင်းသောအခန်း၏ သန့်ရှင်းမှုကို သေချာစေနိုင်သည်။ ဆိုလိုသည်မှာ သန့်ရှင်းသောအခန်းရှိ လေစီးဆင်းမှုစီစဉ်မှုသည် ချစ်ပ်ထုတ်လုပ်မှုပမာဏတွင် အရေးပါသောအခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်သည်။ သန့်ရှင်းသောအခန်း၏ လေစီးဆင်းမှုစီစဉ်မှုဒီဇိုင်းတွင် အောင်မြင်ရမည့်ရည်မှန်းချက်များမှာ- အန္တရာယ်ရှိသော အမှုန်အမွှားများ မကျန်ရှိစေရန် စီးဆင်းမှုလယ်ကွင်းရှိ အက်ဒီစီးကြောင်းများကို လျှော့ချရန် သို့မဟုတ် ဖယ်ရှားရန်၊ cross-contamination ကို ကာကွယ်ရန် သင့်လျော်သော positive pressure gradient ကို ထိန်းသိမ်းရန်တို့ဖြစ်သည်။

သန့်ရှင်းသောအခန်းနိယာမအရ၊ အမှုန်များအပေါ် သက်ရောက်မှုရှိသော အားများတွင် ဒြပ်ထုအား၊ မော်လီကျူးအား၊ အမှုန်များအကြား ဆွဲငင်အား၊ လေစီးဆင်းမှုအား စသည်တို့ ပါဝင်သည်။

လေစီးဆင်းမှုအား- ထောက်ပံ့မှုနှင့် ပြန်စီးဆင်းမှုလေစီးဆင်းမှု၊ အပူဓာတ်ကူးခြင်းလေစီးဆင်းမှု၊ အတုအယောင်လှုံ့ဆော်မှုနှင့် အမှုန်အမွှားများကို သယ်ဆောင်ရန် သတ်မှတ်ထားသောစီးဆင်းမှုနှုန်းရှိသော အခြားလေစီးဆင်းမှုများကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော လေစီးဆင်းမှုအားကို ရည်ညွှန်းသည်။ သန့်ရှင်းသောအခန်းပတ်ဝန်းကျင်နည်းပညာထိန်းချုပ်မှုအတွက် လေစီးဆင်းမှုအားသည် အရေးကြီးဆုံးအချက်ဖြစ်သည်။

လေစီးဆင်းမှုတွင် အမှုန်အမွှားများသည် လေစီးဆင်းမှုအတိုင်း တစ်ထပ်တည်းနီးပါး မြန်နှုန်းဖြင့် လိုက်လံကြောင်း စမ်းသပ်ချက်များအရ သိရသည်။ လေထဲတွင် အမှုန်အမွှားများ၏ အခြေအနေကို လေစီးဆင်းမှု ဖြန့်ဖြူးမှုဖြင့် ဆုံးဖြတ်သည်။ အိမ်တွင်း အမှုန်အမွှားများအပေါ် လေစီးဆင်းမှု၏ အဓိကအကျိုးသက်ရောက်မှုများတွင် လေထောက်ပံ့မှု လေစီးဆင်းမှု (အဓိက လေစီးဆင်းမှုနှင့် ဒုတိယ လေစီးဆင်းမှု အပါအဝင်)၊ လူလမ်းလျှောက်ခြင်းကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော လေစီးဆင်းမှုနှင့် အပူစီးကူးမှု လေစီးဆင်းမှု၊ နှင့် လုပ်ငန်းစဉ်လည်ပတ်မှုများနှင့် စက်မှုလုပ်ငန်းသုံး ပစ္စည်းကိရိယာများကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော အမှုန်အမွှားများအပေါ် လေစီးဆင်းမှု၏ သက်ရောက်မှုတို့ ပါဝင်သည်။ သန့်ရှင်းသောအခန်းများရှိ မတူညီသော လေထောက်ပံ့မှုနည်းလမ်းများ၊ မြန်နှုန်းမျက်နှာပြင်များ၊ အော်ပရေတာများနှင့် စက်မှုလုပ်ငန်းသုံး ပစ္စည်းကိရိယာများ၊ ဖြစ်ပေါ်လာသော ဖြစ်စဉ်များ စသည်တို့သည် သန့်ရှင်းမှုအဆင့်ကို ထိခိုက်စေသော အချက်များဖြစ်သည်။

၁။ လေထောက်ပံ့မှုနည်းလမ်း၏ သြဇာလွှမ်းမိုးမှု

(၁) လေထောက်ပံ့မှုအမြန်နှုန်း

လေစီးဆင်းမှု တစ်ပြေးညီဖြစ်စေရန်အတွက်၊ တစ်လမ်းသွားစီးဆင်းမှု သန့်ရှင်းသောအခန်းရှိ လေထောက်ပံ့မှုအမြန်နှုန်းသည် တစ်ပြေးညီဖြစ်ရမည်၊ လေထောက်ပံ့မှုမျက်နှာပြင်ရှိ သေဇုန်သည် သေးငယ်ရမည်၊ နှင့် hepa filter အတွင်းရှိ ဖိအားကျဆင်းမှုသည်လည်း တစ်ပြေးညီဖြစ်ရမည်။

လေထောက်ပံ့မှုအမြန်နှုန်းသည် တသမတ်တည်းဖြစ်သည်- ဆိုလိုသည်မှာ လေစီးဆင်းမှု၏ မညီမျှမှုကို ±20% အတွင်း ထိန်းချုပ်ထားသည်။

လေထောက်ပံ့မှုမျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် Dead space နည်းပါးသည်- hepa frame ၏ မျက်နှာပြင်ဧရိယာကို လျှော့ချရုံသာမက ပိုအရေးကြီးသည်မှာ redundant frame ကို ရိုးရှင်းစေရန် modular FFU ကို အသုံးပြုသင့်သည်။

လေစီးဆင်းမှုသည် ဒေါင်လိုက်နှင့် တစ်လမ်းသွားဖြစ်ကြောင်း သေချာစေရန်အတွက်၊ filter ၏ ဖိအားကျဆင်းမှု ရွေးချယ်မှုသည်လည်း အလွန်အရေးကြီးပြီး filter အတွင်းရှိ ဖိအားဆုံးရှုံးမှုကို ဘက်လိုက်မှုမရှိစေရန် လိုအပ်ပါသည်။

(၂) FFU စနစ်နှင့် axial flow fan စနစ် နှိုင်းယှဉ်ချက်

FFU သည် ပန်ကာနှင့် hepa filter ပါရှိသော လေထောက်ပံ့ရေးယူနစ်တစ်ခုဖြစ်သည်။ လေကို FFU ၏ centrifugal fan မှ စုပ်ယူပြီး လေပြွန်ရှိ dynamic pressure ကို static pressure အဖြစ်သို့ ပြောင်းလဲပေးသည်။ hepa filter မှ ညီညာစွာ မှုတ်ထုတ်သည်။ မျက်နှာကြက်ပေါ်ရှိ လေထောက်ပံ့ရေးဖိအားသည် negative pressure ဖြစ်သည်။ ဤနည်းအားဖြင့် filter ကို အစားထိုးသောအခါ clean room ထဲသို့ ဖုန်မှုန့်များ ယိုစိမ့်မည်မဟုတ်ပါ။ စမ်းသပ်ချက်များအရ FFU စနစ်သည် လေထွက်ပေါက် ညီညာမှု၊ လေစီးဆင်းမှု parallelism နှင့် လေဝင်လေထွက်ထိရောက်မှုညွှန်းကိန်းတို့တွင် axial flow fan စနစ်ထက် သာလွန်ကြောင်း ပြသထားသည်။ ၎င်းမှာ FFU စနစ်၏ လေစီးဆင်းမှု parallelism ပိုမိုကောင်းမွန်သောကြောင့်ဖြစ်သည်။ FFU စနစ်ကို အသုံးပြုခြင်းဖြင့် clean room ရှိ လေစီးဆင်းမှုစီစဉ်မှုကို တိုးတက်ကောင်းမွန်စေနိုင်သည်။

(၃) FFU ရဲ့ ကိုယ်ပိုင်ဖွဲ့စည်းပုံရဲ့ လွှမ်းမိုးမှု

FFU ကို အဓိကအားဖြင့် ပန်ကာများ၊ စစ်ထုတ်ကိရိယာများ၊ လေစီးဆင်းမှုလမ်းညွှန်များနှင့် အခြားအစိတ်အပိုင်းများဖြင့် ဖွဲ့စည်းထားသည်။ hepa စစ်ထုတ်ကိရိယာသည် သန့်ရှင်းသောအခန်းအတွက် ဒီဇိုင်းအရ လိုအပ်သော သန့်ရှင်းမှုကို ရရှိရန် အရေးကြီးဆုံးအာမခံချက်ဖြစ်သည်။ စစ်ထုတ်ကိရိယာ၏ ပစ္စည်းသည် စီးဆင်းမှုလယ်ကွင်း၏ တစ်ပြေးညီဖြစ်မှုကိုလည်း သက်ရောက်မှုရှိလိမ့်မည်။ ကြမ်းတမ်းသော စစ်ထုတ်ကိရိယာပစ္စည်း သို့မဟုတ် စီးဆင်းမှုပြားကို စစ်ထုတ်ကိရိယာထွက်ပေါက်သို့ ထည့်သွင်းသောအခါ၊ ထွက်ပေါက်စီးဆင်းမှုလယ်ကွင်းကို အလွယ်တကူ တစ်ပြေးညီဖြစ်စေနိုင်သည်။

၂။ ကွဲပြားခြားနားသော သန့်ရှင်းမှုနှင့်အတူ မြန်နှုန်း interface ၏ သက်ရောက်မှု

တူညီသော သန့်ရှင်းသောအခန်းတွင်၊ အလုပ်လုပ်သည့်နေရာနှင့် အလုပ်မလုပ်သည့်နေရာကြားတွင်၊ hepa box ရှိ လေအမြန်နှုန်းကွာခြားမှုကြောင့်၊ မျက်နှာပြင်တွင် ရောနှောထားသော vortex အကျိုးသက်ရောက်မှုတစ်ခု ဖြစ်ပေါ်လာပြီး ဤမျက်နှာပြင်သည် turbulent airflow zone ဖြစ်လာလိမ့်မည်။ လေ turbulence ၏ပြင်းထန်မှုသည် အထူးပြင်းထန်ပြီး အမှုန်အမွှားများသည် စက်ပစ္စည်း၏မျက်နှာပြင်သို့ ကူးစက်ပြီး စက်ပစ္စည်းများနှင့် wafers များကို ညစ်ညမ်းစေနိုင်သည်။

၃။ ဝန်ထမ်းများနှင့် ပစ္စည်းကိရိယာများအပေါ် သက်ရောက်မှု

သန့်ရှင်းသောအခန်း ဗလာဖြစ်နေချိန်တွင် အခန်းအတွင်းရှိ လေစီးဆင်းမှုဝိသေသလက္ခဏာများသည် ဒီဇိုင်းလိုအပ်ချက်များနှင့် ယေဘုယျအားဖြင့် ကိုက်ညီပါသည်။ စက်ပစ္စည်းများ သန့်ရှင်းသောအခန်းထဲသို့ ဝင်ရောက်ပြီး လူများ ရွေ့လျားကာ ထုတ်ကုန်များကို သယ်ယူပို့ဆောင်ပြီးသည်နှင့် လေစီးဆင်းမှုစီစဉ်မှုတွင် မလွဲမသွေ အတားအဆီးများ ရှိလာပါသည်။ ဥပမာအားဖြင့် စက်ပစ္စည်းမှ ထွက်နေသော ချွန်ထက်သော အချွန်များဖြစ်သည်။ ထောင့်များ သို့မဟုတ် အစွန်းများတွင် ဓာတ်ငွေ့သည် လှိုင်းလေထန်သော စီးဆင်းမှုဧရိယာတစ်ခု ဖြစ်ပေါ်လာစေရန် လမ်းကြောင်းပြောင်းသွားပြီး ထိုနေရာရှိ အရည်ကို ဝင်လာသောဓာတ်ငွေ့က အလွယ်တကူ သယ်ဆောင်သွားနိုင်မည်မဟုတ်ဘဲ ညစ်ညမ်းမှုကို ဖြစ်စေပါသည်။

တစ်ချိန်တည်းမှာပင်၊ စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ စက်ပစ္စည်းများ၏ မျက်နှာပြင်သည် စဉ်ဆက်မပြတ်လည်ပတ်မှုကြောင့် အပူပေးခံရမည်ဖြစ်ပြီး၊ အပူချိန်ပြောင်းလဲမှုသည် စက်အနီးတွင် reflow ဧရိယာတစ်ခု ဖြစ်ပေါ်စေပြီး reflow ဧရိယာတွင် အမှုန်များစုပုံလာမှုကို တိုးမြင့်စေသည်။ တစ်ချိန်တည်းမှာပင်၊ အပူချိန်မြင့်မားခြင်းက အမှုန်များ အလွယ်တကူ လွတ်မြောက်စေပါသည်။ နှစ်ထပ်အကျိုးသက်ရောက်မှုသည် ဒေါင်လိုက်အလွှာတစ်ခုလုံးကို ပိုမိုပြင်းထန်စေသည်။ စီးကြောင်းသန့်ရှင်းမှုကို ထိန်းချုပ်ရန် ခက်ခဲခြင်း။ သန့်ရှင်းသောအခန်းရှိ အော်ပရေတာများမှ ဖုန်မှုန့်များသည် ဤ reflow ဧရိယာများရှိ ဝေဖာများတွင် အလွယ်တကူ ကပ်ငြိနိုင်သည်။

၄။ ပြန်လာလေကြမ်းပြင်၏ သြဇာလွှမ်းမိုးမှု

ကြမ်းပြင်မှတစ်ဆင့် ဖြတ်သန်းသွားသော ပြန်လေ၏ ခုခံမှု မတူညီသောအခါ၊ ဖိအားကွာခြားမှု ဖြစ်ပေါ်ပြီး လေသည် ခုခံမှုနည်းသော ဦးတည်ရာသို့ စီးဆင်းစေပြီး တစ်ပြေးညီ လေစီးဆင်းမှုကို မရရှိနိုင်ပါ။ လက်ရှိ ရေပန်းစားသော ဒီဇိုင်းနည်းလမ်းမှာ မြင့်သောကြမ်းပြင်ကို အသုံးပြုရန်ဖြစ်သည်။ မြင့်သောကြမ်းပြင်၏ အဖွင့်အချိုးသည် ၁၀% ဖြစ်သောအခါ၊ အတွင်းပိုင်း အလုပ်လုပ်သည့် အမြင့်တွင် လေစီးဆင်းမှုအလျင်ကို ညီတူညီမျှ ဖြန့်ဝေနိုင်သည်။ ထို့အပြင်၊ ကြမ်းပြင်ပေါ်ရှိ ညစ်ညမ်းမှုရင်းမြစ်ကို လျှော့ချရန် သန့်ရှင်းရေးလုပ်ငန်းကို အလေးထားသင့်သည်။

၅။ လှုံ့ဆော်မှုဖြစ်စဉ်

induction ဖြစ်စဉ်ဟုခေါ်သော ဖြစ်စဉ်သည် တစ်ပြေးညီစီးဆင်းမှုနှင့် ဆန့်ကျင်ဘက်ဦးတည်ချက်ဖြင့် လေစီးဆင်းမှုကို ဖြစ်ပေါ်စေခြင်း၊ အခန်းအတွင်း သို့မဟုတ် လေတိုက်ရာဘက်ရှိ ညစ်ညမ်းနေသောနေရာများတွင် ဖုန်မှုန့်များ ထွက်လာစေပြီး ဖုန်မှုန့်များက wafer ကို ညစ်ညမ်းစေသည့် ဖြစ်စဉ်ကို ရည်ညွှန်းသည်။ ဖြစ်နိုင်ချေရှိသော ဖြစ်စဉ်များတွင် အောက်ပါတို့ ပါဝင်သည်-

(၁) မမြင်ရသော ပြား

ဒေါင်လိုက် တစ်လမ်းသွား စီးဆင်းမှုရှိသော သန့်ရှင်းသောအခန်းတွင်၊ နံရံပေါ်ရှိ အဆစ်များကြောင့်၊ ယေဘုယျအားဖြင့် turbulent flow နှင့် local backflow ကို ဖြစ်ပေါ်စေမည့် ကြီးမားသော blind panel များ ရှိပါသည်။

(၂) မီးအိမ်များ

သန့်ရှင်းသောအခန်းရှိ မီးအလင်းရောင်ကိရိယာများသည် ပိုမိုအကျိုးသက်ရောက်မှုရှိလိမ့်မည်။ ဖလိုရိုဆင့်မီးခွက်၏ အပူသည် လေစီးဆင်းမှုကို မြင့်တက်စေသောကြောင့် ဖလိုရိုဆင့်မီးခွက်သည် မငြိမ်မသက်ဖြစ်စေသောနေရာတစ်ခု မဖြစ်ပါ။ ယေဘုယျအားဖြင့် သန့်ရှင်းသောအခန်းရှိ မီးခွက်များကို လေစီးဆင်းမှုစီစဉ်မှုအပေါ် မီးခွက်များ၏ သက်ရောက်မှုကို လျှော့ချရန် မျက်ရည်စက်ပုံသဏ္ဍာန်ဖြင့် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။

(၃) နံရံများကြားရှိ ကွာဟချက်များ

သန့်ရှင်းမှုလိုအပ်ချက် မတူညီသော ကန့်လန့်ကာနံရံများ သို့မဟုတ် မျက်နှာကြက်များကြားတွင် ကွာဟချက်များရှိနေသည့်အခါ သန့်ရှင်းမှုနည်းပါးသော နေရာများမှ ဖုန်မှုန့်များသည် သန့်ရှင်းမှုမြင့်မားသော အနီးနားရှိ နေရာများသို့ ပျံ့နှံ့သွားနိုင်သည်။

(၄) စက်ပိုင်းဆိုင်ရာပစ္စည်းများနှင့် ကြမ်းပြင် သို့မဟုတ် နံရံကြား အကွာအဝေး

စက်ပိုင်းဆိုင်ရာပစ္စည်းကိရိယာများနှင့် ကြမ်းပြင် သို့မဟုတ် နံရံကြားရှိ ကွာဟချက်သည် သေးငယ်ပါက ပြန်လည်တုန်ခါမှုဖြစ်ပေါ်လိမ့်မည်။ ထို့ကြောင့် ပစ္စည်းကိရိယာများနှင့် နံရံကြားတွင် ကွာဟချက်တစ်ခုချန်ထားပြီး မြေပြင်နှင့် တိုက်ရိုက်ထိတွေ့မှုကို ရှောင်ရှားရန် စက်ပလက်ဖောင်းကို မြှင့်တင်ပါ။