သန့်ရှင်းသောအခန်းတွင်လေကြောင်းဖွဲ့စည်းမှုအပေါ် သက်ရောက်မှုရှိစေမည့်အချက်များကား အဘယ်နည်း။

IC ထုတ်လုပ်မှုစက်မှုလုပ်ငန်းတွင် ချစ်ပ်အထွက်နှုန်းသည် ချစ်ပ်ပေါ်တွင်ထည့်ထားသော လေအမှုန်အရေအတွက်နှင့် အရွယ်အစားနှင့် အနီးကပ်ဆက်စပ်နေသည်။ ကောင်းမွန်သောလေ၀င်ပေါက်အဖွဲ့အစည်းသည် သန့်ရှင်းသောအခန်းမှထွက်လာသောဖုန်မှုန့်များမှထုတ်ပေးသောအမှုန်အမွှားများကိုသန့်စင်ခန်း၏သန့်ရှင်းမှုကိုသေချာစေရန်၊ ဆိုလိုသည်မှာ သန့်ရှင်းသောအခန်းရှိလေ၀င်ပေါက်အဖွဲ့အစည်းသည် IC ထုတ်လုပ်မှုနှုန်းတွင်အရေးပါသောအခန်းကဏ္ဍမှပါဝင်ပါသည်။ သန့်ရှင်းသောအခန်းရှိ လေ၀င်လေထွက်အဖွဲ့အစည်း၏ ဒီဇိုင်းသည် အောက်ပါပန်းတိုင်များကို အောင်မြင်ရန် လိုအပ်သည်- အန္တရာယ်ရှိသော အမှုန်အမွှားများကို ထိန်းသိမ်းခြင်းမှရှောင်ရှားရန် စီးဆင်းမှုနယ်ပယ်ရှိ eddy လျှပ်စီးကြောင်းကို လျှော့ချရန် သို့မဟုတ် ဖယ်ရှားပစ်ပါ။ ဖြတ်ကျော်ညစ်ညမ်းမှုကို ကာကွယ်ရန် သင့်လျော်သော positive pressure gradient ကို ထိန်းသိမ်းပါ။

လေ၀င်လေထွက်အား

သန့်စင်ခန်းနိယာမအရ အမှုန်များပေါ်တွင် သက်ရောက်သော စွမ်းအားများသည် ဒြပ်ထုအား၊ မော်လီကျူးစွမ်းအား၊ အမှုန်များကြားမှ ဆွဲဆောင်မှု၊ လေစီးဆင်းမှု စသည်တို့ ပါဝင်သည်။

လေ၀င်လေထွက်အား- ပေးပို့မှု၊ ပြန်လေစီးဆင်းမှု၊ အပူလှိုင်းလေစီးဆင်းမှု၊ အတုအယောင် နှိုးဆော်မှုနှင့် အမှုန်များကိုသယ်ဆောင်ရန် သတ်မှတ်ထားသော စီးဆင်းမှုနှုန်းဖြင့် အခြားလေစီးဆင်းမှုအား ရည်ညွှန်းသည်။ သန့်ရှင်းသောအခန်းပတ်ဝန်းကျင်ကို နည်းပညာပိုင်းအရ ထိန်းချုပ်ရန်အတွက် လေ၀င်လေထွက်အားသည် အရေးကြီးဆုံးအချက်ဖြစ်သည်။

လေ၀င်လေထွက်လှုပ်ရှားမှုတွင် အမှုန်များသည် လေ၀င်လေထွက်ရွေ့လျားမှုကို တူညီသောအမြန်နှုန်းဖြင့် လိုက်နာကြောင်း စမ်းသပ်မှုများက ပြသခဲ့သည်။ လေထုအတွင်းရှိ အမှုန်အမွှားများ၏ အခြေအနေကို လေစီးဆင်းမှု ဖြန့်ဖြူးမှုဖြင့် ဆုံးဖြတ်သည်။ အိမ်တွင်းရှိ အမှုန်အမွှားများကို အဓိကထိခိုက်စေသော လေစီးဆင်းမှုတွင် အဓိကအားဖြင့်- လေပေးဝေသောလေစီးဆင်းမှု (မူလလေ၀င်လေထွက်နှင့် သာမညလေစီးဆင်းမှုအပါအဝင်)၊ လူများလမ်းလျှောက်ခြင်းကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော လေ၀င်လေထွက်နှင့် အပူလှိုင်းလေစီးဆင်းမှု၊ လုပ်ငန်းစဉ်လည်ပတ်မှုနှင့် စက်မှုလုပ်ငန်းသုံးပစ္စည်းများကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော လေစီးဆင်းမှုတို့ဖြစ်သည်။ မတူညီသော လေပေးဝေမှုနည်းလမ်းများ၊ အမြန်နှုန်းကြားခံများ၊ အော်ပရေတာများနှင့် စက်မှုလုပ်ငန်းသုံးပစ္စည်းများ၊ သန့်ရှင်းသောအခန်းများတွင် ဖြစ်ပေါ်လာသောဖြစ်စဉ်များသည် သန့်ရှင်းမှုအဆင့်ကို ထိခိုက်စေသည့် အကြောင်းရင်းများဖြစ်သည်။

လေ၀င်လေထွက်အဖွဲ့အစည်းကို ထိခိုက်စေသည့်အချက်များ

1. လေပေးဝေမှုနည်းလမ်း၏လွှမ်းမိုးမှု

(၁)။ လေထောက်ပံ့မှုမြန်နှုန်း

တူညီသောလေ၀င်လေထွက်ကိုသေချာစေရန်၊ တစ်ဖက်သတ်လမ်းကြောင်းသန့်ရှင်းသောအခန်းတွင် လေပေးဝေမှုအမြန်နှုန်းသည် တူညီရမည်။ လေပေးဝေသောမျက်နှာပြင်၏ dead zone သည် သေးငယ်ရမည်။ ULPA တွင် ဖိအားကျဆင်းမှုသည်လည်း တစ်ပြေးညီဖြစ်ရမည်။

တူညီသောလေကြောင်းထောက်ပံ့မှုအမြန်နှုန်း- ဆိုလိုသည်မှာ၊ လေစီးဆင်းမှုမညီညာမှုကို ±20% အတွင်း ထိန်းချုပ်ထားသည်။

လေထောက်ပံ့ရေးမျက်နှာပြင်ရှိ အသေဇုန်နည်းပါးသည်- ULPA ဖရိန်၏ လေယာဉ်ဧရိယာကို လျှော့ချသင့်ရုံသာမက ပိုအရေးကြီးသည်မှာ၊ မလိုအပ်သောဘောင်ကို ရိုးရှင်းစေရန် မော်ဂျူလာ FFU ကို လက်ခံကျင့်သုံးသင့်သည်။

ဒေါင်လိုက် unidirectional airflow ကိုသေချာစေရန်၊ filter ၏ pressure drop ရွေးချယ်မှုသည် အလွန်အရေးကြီးပြီး filter မှ pressure loss သည် သွေဖည်၍မရပါ။

(၂)။ FFU စနစ်နှင့် axial flow fan system အကြား နှိုင်းယှဉ်မှု

FFU သည် ပန်ကာနှင့် ဇကာ (ULPA) ပါရှိသော လေထောက်ပံ့ရေးယူနစ်တစ်ခုဖြစ်သည်။ လေကို FFU ၏ဗဟိုချက်ပန်ကာမှ စုပ်ယူပြီးနောက်၊ ဒိုင်နမစ်ဖိအားသည် လေပြွန်အတွင်းရှိ တည်ငြိမ်ဖိအားအဖြစ်သို့ ပြောင်းလဲကာ ULPA ဖြင့် အညီအမျှ လွင့်ထွက်သွားပါသည်။ မျက်နှာကျက်ရှိ လေဝင်လေထွက်ဖိအားသည် အနုတ်ဖိအားဖြစ်ပြီး၊ ထို့ကြောင့် ဇကာကို အစားထိုးသည့်အခါ သန့်ရှင်းသောအခန်းသို့ ဖုန်များမစိမ့်ဝင်စေရန်။ စမ်းသပ်ချက်များအရ FFU စနစ်သည် လေထွက်ပေါက်တူညီမှု၊ လေစီးဆင်းမှုအပြိုင်နှင့် လေဝင်လေထွက်စွမ်းဆောင်ရည်အညွှန်းကိန်းများတွင် axial flow fan system ထက် သာလွန်ကြောင်း သက်သေပြခဲ့သည်။ အကြောင်းမှာ FFU စနစ်၏ လေ၀င်လေထွက် ပြိုင်ဆိုင်မှု ပိုကောင်းသောကြောင့် ဖြစ်သည်။ FFU စနစ်ကိုအသုံးပြုခြင်းသည် သန့်ရှင်းသောအခန်းအတွင်း လေ၀င်လေထွက်ကောင်းစေနိုင်သည်။

(၃)။ FFU ၏ ကိုယ်ပိုင် ဖွဲ့စည်းပုံ လွှမ်းမိုးမှု

FFU သည် အဓိကအားဖြင့် ပန်ကာများ၊ စစ်ထုတ်မှုများ၊ လေစီးဆင်းမှုလမ်းညွှန်ကိရိယာများနှင့် အခြားအစိတ်အပိုင်းများဖြင့် ဖွဲ့စည်းထားသည်။ အလွန်မြင့်မားသော ထိရောက်မှုရှိသော စစ်ထုတ်မှု ULPA သည် သန့်ရှင်းသောအခန်းသည် ဒီဇိုင်း၏ လိုအပ်သော သန့်ရှင်းမှုကို ရရှိနိုင်ခြင်းရှိမရှိအတွက် အရေးကြီးဆုံးအာမခံချက်ဖြစ်သည်။ Filter ၏ ပစ္စည်းသည် flow field ၏ တူညီမှုကိုလည်း ထိခိုက်စေပါသည်။ ဇကာကြမ်းပစ္စည်း သို့မဟုတ် laminar flow plate ကို filter outlet ထဲသို့ ထည့်လိုက်သောအခါ၊ outlet flow field ကို အလွယ်တကူ တူညီအောင် ပြုလုပ်နိုင်သည်။

2. သန့်ရှင်းမှု၏ မတူညီသော အမြန်နှုန်းကြားခံများ၏ သက်ရောက်မှု

တူညီသောသန့်ရှင်းသောအခန်းတွင်၊ အလုပ်လုပ်သောဧရိယာနှင့် ဒေါင်လိုက်တစ်ယူနစ်လမ်းကြောင်းစီးဆင်းမှု၏အလုပ်မလုပ်သောဧရိယာကြားတွင်၊ ULPA ထွက်ပေါက်ရှိလေအမြန်နှုန်းကွာခြားမှုကြောင့်၊ အင်တာဖေ့စ်တွင်ရောနှောထားသောရေဝဲအကျိုးသက်ရောက်မှုကိုထုတ်ပေးမည်ဖြစ်ပြီး၊ ဤမျက်နှာပြင်သည် အထူးမြင့်မားသောလေလှိုင်းထန်မှုပြင်းထန်မှုနှင့်အတူ လှိုင်းထန်သောလေစီးဆင်းမှုဇုန်ဖြစ်လာမည်ဖြစ်သည်။ အမှုန်အမွှားများသည် ပစ္စည်းကိရိယာ၏ မျက်နှာပြင်သို့ ကူးစက်နိုင်ပြီး စက်နှင့် wafers များကို ညစ်ညမ်းစေနိုင်သည်။

3. ဝန်ထမ်းများနှင့် စက်ပစ္စည်းများ ထိခိုက်မှု

သန့်ရှင်းသောအခန်းသည် ဗလာဖြစ်နေသောအခါ၊ အခန်းအတွင်းရှိ လေ၀င်လေထွက်လက္ခဏာများသည် ယေဘုယျအားဖြင့် ဒီဇိုင်းလိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီပါသည်။ စက်ပစ္စည်းများသည် သန့်ရှင်းသောအခန်းထဲသို့ ဝင်လာသောအခါ၊ ဝန်ထမ်းများ ရွေ့လျားပြီး ကုန်ပစ္စည်းများ ပေးပို့သည်နှင့်၊ လေစီးဆင်းမှုအဖွဲ့အစည်းအတွက် အတားအဆီးများ မလွဲမသွေရှိလိမ့်မည်။ ဥပမာအားဖြင့်၊ စက်၏အပြူးထောင့် သို့မဟုတ် အစွန်းများတွင် ဓာတ်ငွေ့သည် လှိုင်းထန်သောဇုန်အဖြစ်သို့ လမ်းကြောင်းပြောင်းသွားမည်ဖြစ်ပြီး၊ ဇုန်အတွင်းရှိအရည်များကို ဓာတ်ငွေ့ဖြင့် အလွယ်တကူသယ်ဆောင်သွားမည်မဟုတ်သောကြောင့် ညစ်ညမ်းမှုဖြစ်စေသည်။ တစ်ချိန်တည်းမှာပင်၊ ဆက်တိုက်လည်ပတ်မှုကြောင့် စက်၏မျက်နှာပြင်သည် အပူတက်လာပြီး အပူချိန် gradient သည် စက်အနီးရှိ reflow zone ကိုဖြစ်ပေါ်စေပြီး reflow zone တွင် အမှုန်များစုပုံလာစေသည်။ တစ်ချိန်တည်းမှာပင် မြင့်မားသော အပူချိန်သည် အမှုန်အမွှားများကို အလွယ်တကူ လွတ်မြောက်စေပါသည်။ အကျိုးသက်ရောက်မှု နှစ်ခုသည် ဒေါင်လိုက် လိုက်မီနာ သန့်ရှင်းမှုကို ထိန်းချုပ်ရန် ခက်ခဲစေသည်။ သန့်ရှင်းသောအခန်းရှိ အော်ပရေတာများမှ ဖုန်မှုန့်များသည် ဤပြန်လည်စီးဆင်းမှုဇုန်ရှိ wafer များကို လိုက်နာရန် အလွန်လွယ်ကူပါသည်။

4. ပြန်လာလေလွှာ၏သြဇာ

ကြမ်းပြင်မှ ဖြတ်သွားသော ပြန်လေထု၏ ခံနိုင်ရည်သည် မတူညီသောအခါတွင် ဖိအားကွာခြားမှုကို ထုတ်ပေးမည်ဖြစ်ပြီး၊ သို့မှသာ လေသည် ခုခံမှုနည်းသော ဦးတည်ရာသို့ စီးဆင်းမည်ဖြစ်ပြီး တူညီသောလေစီးဆင်းမှုကို ရရှိမည်မဟုတ်ပေ။ လက်ရှိရေပန်းစားနေသော ဒီဇိုင်းနည်းလမ်းမှာ အမြင့်ကြမ်းခင်းများကို အသုံးပြုခြင်းဖြစ်ပါသည်။ မြင့်သောကြမ်းပြင်များ၏ အဖွင့်နှုန်းသည် 10% ဖြစ်သောအခါ အခန်း၏ လုပ်ငန်းခွင်အမြင့်ရှိ လေဝင်နှုန်းကို အညီအမျှ ဖြန့်ဝေနိုင်သည်။ ထို့အပြင် ကြမ်းပြင်၏ညစ်ညမ်းမှုအရင်းအမြစ်ကို လျှော့ချရန်အတွက် သန့်ရှင်းရေးလုပ်ငန်းကို တင်းကြပ်စွာ အာရုံစိုက်သင့်သည်။

5. Induction ဖြစ်စဉ်

induction phenomenon ဟုခေါ်သော အသွင်အပြင်သည် တူညီသောစီးဆင်းမှု၏ ဆန့်ကျင်ဘက်ဦးတည်ချက်ရှိ လေ၀င်လေထွက်ကို ရည်ညွှန်းပြီး အခန်းအတွင်းရှိ ဖုန်မှုန့်များ သို့မဟုတ် ညစ်ညမ်းနေသောနေရာရှိ ဖုန်မှုန့်များကို လေဝင်လေထွက်ဖြစ်အောင် လှုံ့ဆော်ပေးသောကြောင့် ဖုန်မှုန့်များသည် ချစ်ပ်ကို ညစ်ညမ်းစေပါသည်။ အောက်ပါတို့သည် ဖြစ်နိုင်ချေရှိသော induction ဖြစ်စဉ်များဖြစ်သည်။

(၁)။ ပန်းကန်ပြား

ဒေါင်လိုက် တစ်ဖက်သတ် လမ်းကြောင်းအတိုင်း စီးဆင်းနေသော သန့်ရှင်းသော အခန်းတွင်၊ နံရံရှိ အဆစ်များ ကြောင့်၊ local return flow အတွက် လှိုင်းထန်စေမည့် ယေဘုယျအားဖြင့် ကြီးမားသော မျက်မမြင်ပြားများ ရှိနေသည်။

(၂)။ မီးခွက်

သန့်ရှင်းသောအခန်းရှိ မီးအလင်းရောင်များသည် ပိုမိုအကျိုးသက်ရောက်မှုရှိစေမည်ဖြစ်သည်။ ချောင်းမီးချောင်းများ၏ အပူရှိန်သည် လေစီးဆင်းမှုကို မြင့်တက်စေသောကြောင့် ချောင်းမီးချောင်းများအောက်ရှိ လှိုင်းထသည့်နေရာတွင် ရှိမည်မဟုတ်ပါ။ ယေဘူယျအားဖြင့်၊ သန့်ရှင်းသောအခန်းရှိ မီးချောင်းများသည် လေဝင်ပေါက်အဖွဲ့အစည်းအပေါ် မီးချောင်းများ၏ သက်ရောက်မှုကို လျှော့ချရန် မျက်ရည်ဥပုံသဏ္ဍာန်ဖြင့် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။

(၃) နံရံများကြားရှိကွက်လပ်များ

မတူညီသောသန့်ရှင်းမှုအဆင့်များ သို့မဟုတ် အခန်းကန့်များနှင့် မျက်နှာကျက်များကြားတွင် ကွာဟချက်များရှိနေသောအခါ၊ သန့်ရှင်းမှုနည်းသောဧရိယာမှ ဖုန်မှုန့်များကို သန့်ရှင်းမှုမြင့်မားသောလိုအပ်ချက်များဖြင့် ကပ်လျက်ဧရိယာသို့ လွှဲပြောင်းပေးနိုင်ပါသည်။

(၄)။ စက်နှင့် ကြမ်းပြင် သို့မဟုတ် နံရံကြား အကွာအဝေး

စက်နှင့် ကြမ်းပြင် သို့မဟုတ် နံရံကြား ကွာဟချက် အလွန်သေးငယ်ပါက၊ ၎င်းသည် ပြန်လည်တုန်ခါမှုကို ဖြစ်စေသည်။ ထို့ကြောင့် စက်နှင့် နံရံကြား ကွာဟချက် ထားခဲ့ကာ စက်ကို မြေပြင်နှင့် တိုက်ရိုက်မထိမိစေရန် စက်ကို မြှင့်တင်ပါ။