သန့်ရှင်းသောအခန်းတွင် လေစီးဆင်းမှုစီစဉ်မှုကို သက်ရောက်မှုရှိသော အချက်များကား အဘယ်နည်း။

IC ထုတ်လုပ်ရေးလုပ်ငန်းတွင် ချစ်ပ်ထုတ်လုပ်မှုနှုန်းသည် ချစ်ပ်ပေါ်တွင် စုပုံနေသော လေမှုန်များ၏ အရွယ်အစားနှင့် အရေအတွက်နှင့် နီးကပ်စွာ ဆက်စပ်နေသည်။ ကောင်းမွန်သော လေစီးဆင်းမှုစီစဉ်မှုသည် ဖုန်မှုန့်ရင်းမြစ်မှ ထွက်လာသော အမှုန်များကို သန့်ရှင်းသောအခန်း၏ သန့်ရှင်းမှုကို သေချာစေရန်အတွက် သန့်ရှင်းသောအခန်းမှ ဝေးရာသို့ ယူဆောင်သွားနိုင်ပြီး၊ ဆိုလိုသည်မှာ သန့်ရှင်းသောအခန်းရှိ လေစီးဆင်းမှုစီစဉ်မှုသည် IC ထုတ်လုပ်မှု၏ ထွက်ရှိမှုနှုန်းတွင် အရေးပါသော အခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်သည်။ သန့်ရှင်းသောအခန်းရှိ လေစီးဆင်းမှုစီစဉ်မှုကို ဒီဇိုင်းဆွဲခြင်းသည် အောက်ပါရည်မှန်းချက်များကို အောင်မြင်ရန် လိုအပ်သည်- အန္တရာယ်ရှိသော အမှုန်များ မကျန်ရှိစေရန်အတွက် စီးဆင်းမှုကွင်းရှိ eddy current ကို လျှော့ချခြင်း သို့မဟုတ် ဖယ်ရှားခြင်း၊ cross contamination ကို ကာကွယ်ရန် သင့်လျော်သော positive pressure gradient ကို ထိန်းသိမ်းခြင်း။

လေစီးဆင်းမှုအား

သန့်ရှင်းသောအခန်းနိယာမအရ၊ အမှုန်များအပေါ် သက်ရောက်မှုရှိသော အားများတွင် ဒြပ်ထုအား၊ မော်လီကျူးအား၊ အမှုန်များအကြား ဆွဲငင်အား၊ လေစီးဆင်းမှုအား စသည်တို့ ပါဝင်သည်။

လေစီးဆင်းမှုအား- အမှုန်များကို သယ်ဆောင်ရန်အတွက် ပို့ဆောင်ခြင်း၊ ပြန်လည်လေစီးဆင်းမှု၊ အပူဓာတ်ဖြင့် လေစီးဆင်းမှု၊ အတုအယောင်မွှေခြင်းနှင့် အခြားစီးဆင်းမှုနှုန်းအချို့ရှိသော လေစီးဆင်းမှုများကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော လေစီးဆင်းမှုအားကို ရည်ညွှန်းသည်။ သန့်ရှင်းသောအခန်းပတ်ဝန်းကျင်၏ နည်းပညာဆိုင်ရာထိန်းချုပ်မှုအတွက် လေစီးဆင်းမှုအားသည် အရေးကြီးဆုံးအချက်ဖြစ်သည်။

လေစီးဆင်းမှုတွင် အမှုန်အမွှားများသည် လေစီးဆင်းမှုရွေ့လျားမှုကို တူညီသောအမြန်နှုန်းဖြင့် လိုက်လံကြောင်း စမ်းသပ်ချက်များအရ ပြသထားသည်။ လေထဲရှိ အမှုန်အမွှားများ၏ အခြေအနေကို လေစီးဆင်းမှု ဖြန့်ဖြူးမှုဖြင့် ဆုံးဖြတ်သည်။ အိမ်တွင်းအမှုန်အမွှားများကို ထိခိုက်စေသော လေစီးဆင်းမှုများတွင် အဓိကအားဖြင့် လေထောက်ပံ့မှု လေစီးဆင်းမှု (အဓိကလေစီးဆင်းမှုနှင့် ဒုတိယလေစီးဆင်းမှု အပါအဝင်)၊ လူလမ်းလျှောက်ခြင်းကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော လေစီးဆင်းမှုနှင့် အပူဓာတ်ကူးခြင်း လေစီးဆင်းမှုနှင့် လုပ်ငန်းစဉ်လည်ပတ်မှုနှင့် စက်မှုလုပ်ငန်းသုံး ပစ္စည်းကိရိယာများကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော လေစီးဆင်းမှုတို့ ပါဝင်သည်။ မတူညီသော လေထောက်ပံ့မှုနည်းလမ်းများ၊ မြန်နှုန်းမျက်နှာပြင်များ၊ အော်ပရေတာများနှင့် စက်မှုလုပ်ငန်းသုံး ပစ္စည်းကိရိယာများနှင့် သန့်ရှင်းသောအခန်းများတွင် ဖြစ်ပေါ်လာသော ဖြစ်စဉ်များသည် သန့်ရှင်းမှုအဆင့်ကို ထိခိုက်စေသော အချက်များဖြစ်သည်။

လေစီးဆင်းမှုစီစဉ်မှုကို ထိခိုက်စေသောအချက်များ

၁။ လေထောက်ပံ့မှုနည်းလမ်း၏ သြဇာလွှမ်းမိုးမှု

(၁)။ လေထောက်ပံ့မှုအမြန်နှုန်း

လေစီးဆင်းမှု တစ်ပြေးညီဖြစ်စေရန်အတွက် တစ်လမ်းသွား သန့်ရှင်းသောအခန်းတွင် လေထောက်ပံ့မှုအမြန်နှုန်းသည် တစ်ပြေးညီဖြစ်ရမည်။ လေထောက်ပံ့မှုမျက်နှာပြင်၏ သေဇုန်သည် သေးငယ်ရမည်ဖြစ်ပြီး ULPA ရှိ ဖိအားကျဆင်းမှုသည်လည်း တစ်ပြေးညီဖြစ်ရမည်။

တစ်ပြေးညီလေထောက်ပံ့မှုအမြန်နှုန်း- ဆိုလိုသည်မှာ လေစီးဆင်းမှုမညီမျှမှုကို ±20% အတွင်း ထိန်းချုပ်ထားသည်။

လေထောက်ပံ့မှုမျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ သေဇုန်နည်းပါးခြင်း- ULPA frame ၏ မျက်နှာပြင်ဧရိယာကို လျှော့ချရုံသာမက ပိုအရေးကြီးသည်မှာ redundant frame ကို ရိုးရှင်းစေရန် modular FFU ကို အသုံးပြုသင့်သည်။

ဒေါင်လိုက် တစ်လမ်းသွား လေစီးဆင်းမှုကို သေချာစေရန်အတွက်၊ filter ၏ ဖိအားကျဆင်းမှု ရွေးချယ်မှုသည်လည်း အလွန်အရေးကြီးပြီး filter ရှိ ဖိအားဆုံးရှုံးမှု သွေဖည်မသွားစေရန် လိုအပ်ပါသည်။

(၂)။ FFU စနစ်နှင့် axial flow fan စနစ် နှိုင်းယှဉ်ချက်

FFU သည် ပန်ကာနှင့် filter (ULPA) ပါသော လေထောက်ပံ့ယူနစ်တစ်ခုဖြစ်သည်။ FFU ၏ centrifugal fan မှ လေကို စုပ်ယူပြီးနောက်၊ dynamic pressure ကို လေပြွန်ရှိ static pressure အဖြစ်ပြောင်းလဲပြီး ULPA ဖြင့် ညီညာစွာ မှုတ်ထုတ်သည်။ မျက်နှာကြက်ပေါ်ရှိ လေထောက်ပံ့ဖိအားသည် negative pressure ဖြစ်သောကြောင့် filter အစားထိုးသောအခါ clean room ထဲသို့ ဖုန်မှုန့်များ ယိုစိမ့်ခြင်းမရှိပါ။ စမ်းသပ်ချက်များအရ FFU စနစ်သည် လေထွက်ပေါက် ညီညာမှု၊ airflow parallelism နှင့် ventilation efficiency index တို့တွင် axial flow fan စနစ်ထက် သာလွန်ကြောင်း ပြသထားသည်။ ၎င်းမှာ FFU စနစ်၏ airflow parallelism ပိုမိုကောင်းမွန်သောကြောင့်ဖြစ်သည်။ FFU စနစ်ကို အသုံးပြုခြင်းဖြင့် clean room ရှိ လေစီးဆင်းမှုကို ပိုမိုကောင်းမွန်စွာ စီစဉ်နိုင်သည်။

(၃)။ FFU ရဲ့ ကိုယ်ပိုင်ဖွဲ့စည်းပုံရဲ့ လွှမ်းမိုးမှု

FFU ကို အဓိကအားဖြင့် ပန်ကာများ၊ စစ်ထုတ်ကိရိယာများ၊ လေစီးဆင်းမှုလမ်းညွှန်ကိရိယာများနှင့် အခြားအစိတ်အပိုင်းများဖြင့် ဖွဲ့စည်းထားသည်။ အလွန်မြင့်မားသောစွမ်းဆောင်ရည်ရှိသော စစ်ထုတ်ကိရိယာ ULPA သည် သန့်ရှင်းသောအခန်းသည် ဒီဇိုင်း၏ လိုအပ်သော သန့်ရှင်းမှုကို ရရှိနိုင်ခြင်း ရှိ၊ မရှိအတွက် အရေးကြီးဆုံးအာမခံချက်ဖြစ်သည်။ စစ်ထုတ်ကိရိယာ၏ ပစ္စည်းသည် စီးဆင်းမှုစက်ကွင်း၏ တစ်ပြေးညီဖြစ်မှုကိုလည်း သက်ရောက်မှုရှိလိမ့်မည်။ ကြမ်းတမ်းသော စစ်ထုတ်ပစ္စည်း သို့မဟုတ် laminar flow plate ကို စစ်ထုတ်ကိရိယာထွက်ပေါက်သို့ ထည့်သွင်းသောအခါ၊ ထွက်ပေါက်စီးဆင်းမှုစက်ကွင်းကို အလွယ်တကူ တစ်ပြေးညီဖြစ်စေနိုင်သည်။

၂။ သန့်ရှင်းမှု၏ မတူညီသော မြန်နှုန်း အင်တာဖေ့စ်များ၏ သက်ရောက်မှု

တူညီသော သန့်ရှင်းသောအခန်းတွင်၊ အလုပ်လုပ်သည့်နေရာနှင့် အလုပ်မလုပ်သည့်နေရာကြားတွင်၊ ULPA ထွက်ပေါက်ရှိ လေအမြန်နှုန်းကွာခြားမှုကြောင့်၊ မျက်နှာပြင်တွင် ရောနှောထားသော vortex effect တစ်ခု ဖြစ်ပေါ်လာပြီး ဤမျက်နှာပြင်သည် လေလှိုင်းထန်မှုပြင်းထန်မှု အထူးမြင့်မားသော turbulence air flow zone တစ်ခု ဖြစ်လာလိမ့်မည်။ အမှုန်အမွှားများသည် စက်ပစ္စည်း၏မျက်နှာပြင်သို့ ကူးစက်ပြီး စက်ပစ္စည်းများနှင့် wafers များကို ညစ်ညမ်းစေနိုင်သည်။

၃။ ဝန်ထမ်းနှင့် ပစ္စည်းကိရိယာများ၏ သက်ရောက်မှု

သန့်ရှင်းသောအခန်း ဗလာဖြစ်နေချိန်တွင် အခန်းအတွင်းရှိ လေစီးဆင်းမှုဝိသေသလက္ခဏာများသည် ဒီဇိုင်းလိုအပ်ချက်များနှင့် ယေဘုယျအားဖြင့် ကိုက်ညီပါသည်။ စက်ပစ္စည်းသည် သန့်ရှင်းသောအခန်းထဲသို့ ဝင်ရောက်ပြီး ဝန်ထမ်းများ ရွှေ့ပြောင်းပြီး ထုတ်ကုန်များ ပို့လွှတ်သည်နှင့် လေစီးဆင်းမှုစီစဉ်မှုတွင် မလွဲမသွေ အတားအဆီးများ ရှိလာမည်ဖြစ်သည်။ ဥပမာအားဖြင့်၊ စက်ပစ္စည်း၏ ထွက်နေသောထောင့်များ သို့မဟုတ် အစွန်းများတွင် ဓာတ်ငွေ့ကို မငြိမ်မသက်ဇုန်တစ်ခုဖြစ်ပေါ်စေရန် လမ်းကြောင်းပြောင်းမည်ဖြစ်ပြီး ဇုန်ရှိ အရည်ကို ဓာတ်ငွေ့ဖြင့် အလွယ်တကူ မသယ်ဆောင်နိုင်သောကြောင့် ညစ်ညမ်းမှုဖြစ်စေသည်။ တစ်ချိန်တည်းမှာပင်၊ စက်ပစ္စည်း၏ မျက်နှာပြင်သည် စဉ်ဆက်မပြတ်လည်ပတ်မှုကြောင့် ပူလာပြီး အပူချိန်ပြောင်းလဲမှုသည် စက်အနီးတွင် reflow ဇုန်တစ်ခုဖြစ်ပေါ်စေပြီး reflow ဇုန်တွင် အမှုန်များစုပုံလာစေမည်ဖြစ်သည်။ တစ်ချိန်တည်းမှာပင်၊ အပူချိန်မြင့်မားခြင်းက အမှုန်များ အလွယ်တကူ လွတ်မြောက်စေမည်ဖြစ်သည်။ နှစ်ထပ်အကျိုးသက်ရောက်မှုသည် ဒေါင်လိုက် laminar သန့်ရှင်းမှုကို ထိန်းချုပ်ရန် အခက်အခဲကို ပိုမိုဆိုးရွားစေသည်။ သန့်ရှင်းသောအခန်းရှိ အော်ပရေတာများမှ ဖုန်မှုန့်များသည် ဤ reflow ဇုန်များရှိ ဝေဖာများတွင် ကပ်ငြိရန် အလွန်လွယ်ကူသည်။

၄။ ပြန်လာလေကြမ်းပြင်၏ သြဇာလွှမ်းမိုးမှု

ကြမ်းပြင်မှတစ်ဆင့် ဖြတ်သန်းသွားသော ပြန်လေခုခံမှု မတူညီသောအခါ၊ ဖိအားကွာခြားမှု ဖြစ်ပေါ်လာပြီး လေသည် ခုခံမှုနည်းသော ဦးတည်ရာသို့ စီးဆင်းမည်ဖြစ်ပြီး တစ်ပြေးညီ လေစီးဆင်းမှုကို မရရှိနိုင်ပါ။ လက်ရှိ ရေပန်းစားသော ဒီဇိုင်းနည်းလမ်းမှာ မြင့်သောကြမ်းပြင်များကို အသုံးပြုရန်ဖြစ်သည်။ မြင့်သောကြမ်းပြင်များ၏ ဖွင့်နှုန်းမှာ ၁၀% ဖြစ်သောအခါ၊ အခန်း၏ အလုပ်လုပ်သည့်အမြင့်တွင် လေစီးဆင်းမှုအလျင်ကို ညီတူညီမျှ ဖြန့်ဝေနိုင်သည်။ ထို့အပြင်၊ ကြမ်းပြင်၏ ညစ်ညမ်းမှုရင်းမြစ်ကို လျှော့ချရန်အတွက် သန့်ရှင်းရေးလုပ်ငန်းကို အလေးထားသင့်သည်။

၅။ လှုံ့ဆော်မှုဖြစ်စဉ်

induction ဖြစ်စဉ်ဟုခေါ်သည်ဆိုသည်မှာ တစ်ပြေးညီစီးဆင်းမှု၏ ဆန့်ကျင်ဘက်ဦးတည်ချက်ရှိ လေစီးဆင်းမှုကို ထုတ်ပေးပြီး အခန်းထဲတွင် ဖြစ်ပေါ်လာသော ဖုန်မှုန့်များ သို့မဟုတ် ညစ်ညမ်းနေသောနေရာရှိ ဖုန်မှုန့်များကို လေတိုက်ရာဘက်သို့ လှုံ့ဆော်ပေးသောကြောင့် ဖုန်မှုန့်များသည် ချစ်ပ်ကို ညစ်ညမ်းစေနိုင်သည်။ အောက်ပါတို့သည် induction ဖြစ်စဉ်များဖြစ်သည်။

(၁)။ မမြင်ရသောပြား

ဒေါင်လိုက် တစ်လမ်းသွား စီးဆင်းမှုရှိသော သန့်ရှင်းသောအခန်းတွင် နံရံပေါ်ရှိ အဆစ်များကြောင့် ဒေသတွင်း ပြန်လည်စီးဆင်းမှုတွင် လှိုင်းထခြင်းကို ဖြစ်ပေါ်စေမည့် ကြီးမားသော မျက်ကွယ်ပြားများ ယေဘုယျအားဖြင့် ရှိပါသည်။

(၂)။ မီးခွက်များ

သန့်ရှင်းသောအခန်းရှိ မီးအလင်းရောင်ပစ္စည်းများသည် ပိုမိုကြီးမားသောအကျိုးသက်ရောက်မှုရှိလိမ့်မည်။ ဖလိုရိုဆင့်မီးချောင်းများ၏ အပူသည် လေစီးဆင်းမှုကို မြင့်တက်စေသောကြောင့် ဖလိုရိုဆင့်မီးချောင်းများအောက်တွင် လှိုင်းထသောနေရာရှိမည်မဟုတ်ပါ။ ယေဘုယျအားဖြင့် သန့်ရှင်းသောအခန်းရှိ မီးချောင်းများကို လေစီးဆင်းမှုအဖွဲ့အစည်းအပေါ် မီးချောင်းများ၏ သက်ရောက်မှုကို လျှော့ချရန် မျက်ရည်စက်ပုံသဏ္ဍာန်ဖြင့် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။

(၃။) နံရံများကြားရှိ ကွာဟချက်များ

သန့်ရှင်းမှုအဆင့် ကွဲပြားသော အခန်းကန့်များကြားတွင် သို့မဟုတ် အခန်းကန့်များနှင့် မျက်နှာကြက်ကြားတွင် ကွာဟချက်များရှိနေသည့်အခါ သန့်ရှင်းမှုနိမ့်သောနေရာမှ ဖုန်မှုန့်များသည် သန့်ရှင်းမှုမြင့်မားသော အနီးနားရှိနေရာသို့ ကူးစက်သွားနိုင်သည်။

(၄)။ စက်နှင့် ကြမ်းပြင် သို့မဟုတ် နံရံကြား အကွာအဝေး

စက်နှင့် ကြမ်းပြင် သို့မဟုတ် နံရံကြားရှိ ကွာဟချက် အလွန်သေးငယ်ပါက ပြန်လည်ခုန်ပျံမှု လှိုင်းထခြင်းကို ဖြစ်ပေါ်စေပါသည်။ ထို့ကြောင့် စက်နှင့် နံရံကြားတွင် ကွာဟချက်တစ်ခုချန်ထားပြီး စက်ကို မြေပြင်နှင့် တိုက်ရိုက်မထိစေရန် မြှင့်တင်ပါ။