သန့်ရှင်းသောအခန်းရှိလေစီးဆင်းမှုအဖွဲ့အစည်းကိုထိခိုက်သောအချက်များကားအဘယ်နည်း။

IC ကုန်ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းတွင် chip အထွက်နှုန်းမြင့်တက်မှုနှုန်းသည်ချစ်ပ်ပေါ်တွင်အပ်နှံထားသောလေထု၏အရွယ်အစားနှင့်အရေအတွက်နှင့်နီးကပ်စွာဆက်နွယ်သည်။ သန့်ရှင်းသောအခန်း၏သန့်ရှင်းမှုအဖွဲ့အစည်းသည်အထွက်နှုန်းမြင့်မားသောလေစီးဆင်းမှုဆိုင်ရာအခန်းကဏ် plays မှပါ 0 င်သောလေထု၏သန့်ရှင်းမှုအဖွဲ့အစည်းသည်အဓိကအခန်းကဏ် plays မှပါ 0 င်ရန်သန့်ရှင်းသောအခန်းမှထွက်ရှိသည့်အမှုန်များရှိသည့်အမှုန်ကောင်းတစ်ခုကနေထုတ်လွှင့်သောအမှုန်များကိုဖယ်ရှားပေးနိုင်သည်။ သန့်ရှင်းသောအခန်းရှိလေစီးဆင်းမှုအဖွဲ့အစည်း၏ဒီဇိုင်းသည်အောက်ပါပန်းတိုင်များရရှိရန်လိုအပ်သည်။ လက်ဝါးကပ်တိုင်ညစ်ညမ်းမှုကိုကာကွယ်ရန်သင့်လျော်သောအပြုသဘောဆောင်သောအပြုသဘောဆောင်သောဖိအား gradient ကိုထိန်းသိမ်းပါ။

လေကြောင်းလိုင်း

စင်ကြယ်သောအခန်းနိယာမအရအမှုန်များအပေါ်သရုပ်ဆောင်သောအင်အားစုများတွင်အစုလိုက်အပြုံလိုက်အင်အား, မော်လီကျူးစွမ်းအား, အမှုန်များ,

လေကြောင်းလိုင်း - လေကြောင်းလိုင်း၏အင်အားကိုထုတ်ဖော်ပြောဆိုခြင်းကြောင့်လေစီးပွါးမှု၏အင်အားကိုရည်ညွှန်းသည်။ လေစီးပွါးရေး 0 န်ဆောင်မှုပေးခြင်း, သန့်ရှင်းသောအခန်းပတ် 0 န်းကျင်နည်းပညာဆိုင်ရာထိန်းချုပ်မှုအတွက်လေစီးဆင်းမှုသည်အရေးအကြီးဆုံးအချက်ဖြစ်သည်။

စမ်းသပ်ချက်များသည်လေကြောင်းလိုင်းလှုပ်ရှားမှုတွင်အမှုန်များသည်အလျင်အမြန်နီးကပ်စွာလေတိုက်လှုပ်ရှားမှုများကိုလိုက်နာကြောင်းပြသခဲ့သည်။ လေထုထဲတွင်အမှုန်များ၏အခြေအနေကိုလေကြောင်းလိုင်းဖြန့်ဖြူးခြင်းဖြင့်ဆုံးဖြတ်သည်။ မိုးလုံလေလုံခြုံရေးကိုအကျိုးသက်ရောက်စေသောလေထုထဲတွင်အဓိကအားဖြင့်လေကြောင်းလိုင်းနှင့်အလယ်အလတ် airflow နှင့်အလယ်အလတ် airflow အပါအ 0 င်လေစီးဆင်းမှု, မတူညီသောလေကြောင်းထောက်ပံ့ရေးနည်းလမ်းများ, မြန်နှုန်း interfaces များ, အော်ပရေတာနှင့်စက်မှုစက်ကိရိယာများနှင့်သန့်ရှင်းသောအခန်းများတွင်သန့်ရှင်းသောအခန်းများရှိသည့်အချက်များအားလုံးသည်သန့်ရှင်းမှုအဆင့်ကိုသက်ရောက်စေသည်။

လေကြောင်းလိုင်းအဖွဲ့အစည်းကိုထိခိုက်သောအချက်များ

1 ။ လေကြောင်းထောက်ပံ့ရေးနည်းလမ်း၏သွဇာလွှမ်းမိုးမှု

(1) ။ လေကြောင်းထောက်ပံ့ရေးအမြန်နှုန်း

ယူနီဖောင်းလေစီးဆင်းမှုကိုသေချာစေရန် Air Supply Speed ​​သည်တစ်ဖက်သတ်သန့်ရှင်းသောအခန်းတစ်ခန်းတွင်ယူနီဖောင်းဖြစ်ရမည်။ လေကြောင်းထောက်ပံ့ရေးမျက်နှာပြင်၏သေလွန်သောင်းဇုန်သည်သေးငယ်ရမည်။ နှင့် Ulpa အတွက်ဖိအားကျဆင်းမှုသည်လည်းယူနီဖောင်းဖြစ်ရမည်။

ယူနီဖောင်းလေကြောင်းထောက်ပံ့ရေးအမြန်နှုန်း - ဆိုလိုသည်မှာလေစီးဆင်းမှုမညီမညာဖြစ်မှုကို± 20% အတွင်းထိန်းချုပ်ထားသည်။

လေကြောင်းထောက်ပံ့ရေးမျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိလူသေကောင်လေးနည်းပါးသောဇုန် - Ulpa frame area ရိယာကိုလျှော့ချသင့်သည်သာမကမလိုအပ်သောဘောင်ကိုရိုးရှင်းစေရန် Modular FFU ကိုကျင့်သုံးသင့်သည်။

ဒေါင်လိုက်ဘက်စုံဖြည့်တင်းခြင်းလေစီးဆင်းမှုကိုသေချာစေရန် filter ၏ဖိအားပေးမှုသည်အလွန်အရေးကြီးသည်။

(2) ။ FFU System နှင့် Axial Flow Fan System အကြားနှိုင်းယှဉ်

FFU သည်ပန်ကာနှင့် filter (uspa) နှင့်အတူလေကြောင်းထောက်ပံ့ရေးယူနစ်ဖြစ်သည်။ FFU ၏ Centrifugal ပရိသတ်များကလေကိုစုပ်ယူပြီးနောက်တက်ကြွသောဖိအားကိုလေကြောင်းပြွန်တွင်ငြိမ်သက်မှုရှိသည့်ဖိအားများအဖြစ်ပြောင်းလဲသည်။ မျက်နှာကျက်အပေါ်လေကြောင်းထောက်ပံ့ရေးဖိအားသည်အနှုတ်အားဖြင့်ဖုန်မှုန့်များကိုအစားထိုးသောအခါဖုန်မှုန့်များမပျောက်ကွယ်နိုင်အောင်ဖိအားပေးမှုဖြစ်သည်။ စမ်းသပ်မှုများက FFU စနစ်သည် Axial Inform Fing System ထက်သာလွန်သော Axial Flow Fan System ထက်သာလွန်ကြောင်းပြသခဲ့သည်။ ဘာဖြစ်လို့လဲဆိုတော့ FFU စနစ်ရဲ့လေစီးဆင်းမှုအပြိုင်အဆိုင်ပိုကောင်းတဲ့အတွက်ကြောင့်ဖြစ်တယ်။ FFU စနစ်၏အသုံးပြုမှုသည်သန့်ရှင်းသောအခန်းထဲတွင်လေစီးဆင်းမှုကိုပိုမိုကောင်းမွန်စွာဖွဲ့စည်းနိုင်သည်။

(3) ။ FFU ၏ကိုယ်ပိုင်ဖွဲ့စည်းပုံ၏သွဇာလွှမ်းမိုးမှု

FFU ကိုအဓိကအားဖြင့်ပရိတ်သတ်များ, စစ်ထုတ်စက်များ, လေကြောင်းလိုင်းလမ်းညွှန်ကိရိယာများနှင့်အခြားအစိတ်အပိုင်းများဖြင့်ဖွဲ့စည်းထားသည်။ Ultra-High ထိရောက်မှုမြင့်မားသော filterpt uspa သည်သန့်ရှင်းသောအခန်းသည်ဒီဇိုင်း၏လိုအပ်သောသန့်ရှင်းမှုများကိုရရှိနိုင်မည်လားဆိုသည်မှာအရေးအကြီးဆုံးဖြစ်သည်။ filter ၏ပစ္စည်းသည်စီးဆင်းမှုနယ်ပယ်၏တူညီမှုကိုအကျိုးသက်ရောက်လိမ့်မည်။ ကြမ်းတမ်းသောစစ်ထုတ်ပစ္စည်းသို့မဟုတ် laminar စီးဆင်းမှုပန်းကန်ကို filter outlet ထဲသို့ထည့်သောအခါထွက်ပေါက်စီးဆင်းမှုကိုအလွယ်တကူယူနီဖောင်းလုပ်နိုင်သည်။

2 ။ သန့်ရှင်းမှု၏ကွဲပြားခြားနားသောမြန်နှုန်း interfles ၏သက်ရောက်မှု

uspa outlet တွင်လေကြောင်းအမြန်နှုန်းတွင်လေကြောင်းအမြန်နှုန်းဖြင့်အလုပ်လုပ်နေသောလုပ်ငန်းနယ်ပယ်နှင့်အလုပ်ခွင်မဟုတ်သော on ရိယာအကြားရှိသန့်ရှင်းသောအခန်းတစ်ခန်းတည်း၌ပင်သန့်ရှင်းသောပရိဘောဂများအကြား, အထူးသဖြင့်လေယာဉ်လှိုင်းထိတွေ့မှုပြင်းထန်မှုနှင့်အတူလေစီးဆင်းမှုဇုန်။ အမှုန်များကိုပစ္စည်းကိရိယာများ၏မျက်နှာပြင်သို့ကူးစက်။ ပစ္စည်းကိရိယာများနှင့်ယက်သမားများအားညစ်ညမ်းစေနိုင်သည်။

3 ။ 0 န်ထမ်းများနှင့်ပစ္စည်းကိရိယာများ

သန့်ရှင်းသောအခန်းသည်ဗလာကျသောအခါ, အခန်းထဲရှိလေစီးဆင်းမှုလက္ခဏာများသည်ယေဘုယျအားဖြင့်ဒီဇိုင်းလိုအပ်ချက်များကိုဖြည့်ဆည်းပေးသည်။ ပစ္စည်းကိရိယာများသည်သန့်ရှင်းသောအခန်းထဲသို့ဝင်သွားသည်နှင့်တပြိုင်နက် 0 န်ထမ်းများရွှေ့ပြောင်းခြင်းနှင့်ထုတ်ကုန်များကိုကူးစက်သည်။ လေထုစီးဆင်းမှုအဖွဲ့အစည်းကိုအတားအဆီးဖြစ်စေနိုင်သည်။ ဥပမာအားဖြင့်, ပစ္စည်းကိရိယာများ၏ပေါ်ပေါက်လာသောထောင့်များသို့မဟုတ်အနားများတွင်ဓာတ်ငွေ့သည်ကသောင်းကနင်းနိုင်သောဇုန်တစ်ခုဖွဲ့စည်းရန်ဓာတ်ငွေ့ကိုပြောင်းရွှေ့သွားလိမ့်မည်။ တစ်ချိန်တည်းမှာပင်ဆက်တိုက်လည်ပတ်မှုကြောင့်ပစ္စည်းကိရိယာများ၏မျက်နှာပြင်သည်အပူချိန်မြင့်တက်လာလိမ့်မည်။ အပူချိန် gradient သည်စက်အနီးရှိစက်ဝန်းရှိဇုန်ကိုဖြစ်ပေါ်စေလိမ့်မည်။ တစ်ချိန်တည်းမှာပင်မြင့်မားသောအပူချိန်သည်အမှုန်များလွတ်မြောက်ရန်အလွယ်တကူဖြစ်ပေါ်စေနိုင်သည်။ Dual Effect သည်အလုံးစုံဒေါင်လိုက်လော်ရီသန့်စင်ခြင်းကိုထိန်းချုပ်ရန်အခက်အခဲကိုပိုမိုဆိုးရှားစေသည်။ သန့်ရှင်းသောအခန်းရှိအော်ပရေတာများမှဖုန်မှုန့်များသည်ဤ reflow zone များရှိ wafers များကိုလိုက်နာရန်အလွန်လွယ်ကူသည်။

4 ။ ပြန်လာလေခင်း၏သွဇာလွှမ်းမိုးမှု

ကြမ်းပြင်ကိုဖြတ်သန်းသွားသော Reward Air ကိုကျော်ဖြတ်နိုင်သည့်အခါဖိအားပြတ်လပ်မှုကိုဖြစ်ပေါ်စေလိမ့်မည်။ လက်ရှိလူကြိုက်များသောဒီဇိုင်းနည်းလမ်းသည်မြင့်မားသောကြမ်းပြင်ကိုအသုံးပြုရန်ဖြစ်သည်။ မြင့်မားသောအထပ်မြင့်အဖွင့်နှုန်းမှာ 10% ရှိလျှင်အခန်း၏အလုပ်တွင်လေစီးဆင်းမှုအလျင်ကိုအညီအမျှဖြန့်ဝေနိုင်သည်။ ထို့အပြင်ကြမ်းပြင်၏လေထုညစ်ညမ်းမှုအရင်းအမြစ်ကိုလျှော့ချရန်အလုပ်သန့်ရှင်းရေးလုပ်ရန်လက်ဝါးကပ်တိုင်အာရုံစိုက်သင့်သည်။

5 ။ induction phenomenon

အဆိုပါ induction ဖြစ်စဉ်ကိုဟုခေါ်သောဖြစ်စဉ်ကိုရည်ညွှန်းသည်ယူနီဖောင်းစီးဆင်းမှု၏ဆန့်ကျင်ဘက် ဦး တည်ချက်၏လေယာဉ်စီးဆင်းမှုကိုထုတ်ပေးသောဖြစ်စဉ်ကိုရည်ညွှန်းသည်။ အဆိုပါချစ်ပ်ညစ်ညမ်းနိုင်ပါတယ်။ အောက်ပါတို့သည်ဖြစ်နိုင်ချေရှိသော induction ဖြစ်စဉ်များဖြစ်သည်။

(1) ။ မျက်စိကန်းသောပန်းကန်

နံရံပေါ်ရှိအဆစ်များကြောင့်ဒေါင်လိုက်ဘက်စုံဖြည့်တင်းသောစီးဆင်းမှုရှိသောစင်ကြယ်သောအခန်းတစ်ခန်းတွင်ယေဘုယျအားဖြင့်ဒေသခံပြန်လာစီးဆင်းမှုတွင်လှိုင်းလေထန်စေမည့်မျက်မမြင်ပြားများရှိသည်။

(2) ။ မီးအိမ်

သန့်ရှင်းသောအခန်းရှိအလင်းရောင်မီးအိမ်များသည်ပိုမိုကြီးမားသောသက်ရောက်မှုရှိလိမ့်မည်။ မီးလျှံမီးလျှံမီးများမြင့်တက်လာခြင်းကြောင့်လေကြောင်းစီးဆင်းမှုကိုဖြစ်ပေါ်စေသောကြောင့်မီးသီးမီးချောင်းများအောက်တွင်ကသောင်းကနင်းနိုင်သောနေရာမရှိပါ။ ယေဘုယျအားဖြင့်သန့်ရှင်းသောအခန်းရှိမီးခွက်များသည်လေကြောင်းလိုင်းရှိမီးခွက်များ၏သက်ရောက်မှုကိုလျှော့ချရန်မျက်ရည်များပုံသဏ် in ာန်ရှိသည့်မီးခွက်များဖြင့်ဒီဇိုင်းပြုလုပ်ထားသည်။

(3) နံရံများအကြားကွာဟချက်များ

ကွဲပြားခြားနားသောသန့်ရှင်းမှုအဆင့်ဆင့်နှင့်အတူ partitions များအကြားကွာဟချက်များအကြားကွာဟချက်များအကြားသို့မဟုတ်ဒေသကန့်သတ်ခြင်းများနှင့်မျက်နှာကျက်များအကြားသန့်ရှင်းရေးလိုအပ်ချက်များကိုလျော့ကျလာသည့်နေရာများသို့ပြောင်းရွှေ့နိုင်သည်။

(4) ။ စက်နှင့်ကြမ်းပြင်သို့မဟုတ်နံရံအကြားအကွာအဝေး

စက်နှင့်ကြမ်းပြင်သို့မဟုတ်နံရံအကြားကွာဟချက်သည်အလွန်သေးငယ်သောနည်းပါးလျှင်၎င်းသည်လှည့်လည်သွားလာမှုကိုဖြစ်ပေါ်စေလိမ့်မည်။ ထို့ကြောင့်ပစ္စည်းကိရိယာများနှင့်နံရံအကြားကွာဟချက်ကိုချန်ထားပါ။ စက်ကိုမြေကိုတိုက်ရိုက်မထိစေရန်စက်ကိုမြှင့်တင်ပါ။